| 研究成果の概要 |
CO2レーザを用いることでスタイラス接触子直径約1.2～300 μｍの微細形状測定用スタイラスが製作可能であることを確認した．また,表面間力によるスタイラスの付着対策として,膜厚数nmの撥水コーティングを行い,表面間力の影響を約3割低減可能であることを確認した．FDTD法による光学解析の解析結果より,波長375 nmのレーザを使用することで,0.2 μｍ程度のスタイラスシャフトでも使用できる可能性があることが解析の結果確認できた．また,基礎実験の結果,波長375 nmのレーザ光を用いることで,直径約0.4 μｍの極小径のスタイラスシャフトでも約5 nmの測定分解能が得られることを確認した．
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