| 研究課題/領域番号 |
26420407
|
|---|
| 研究種目 |
基盤研究(C)
|
| 配分区分 | 基金 |
|---|
| 応募区分 | 一般 |
|---|
| 研究分野 |
計測工学
|
|---|
| 研究機関 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
|---|
研究代表者 |
雨宮 邦招 国立研究開発法人産業技術総合研究所, 物理計測標準研究部門, 主任研究員 (60361531)
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
2014-04-01 – 2017-03-31
|
| 研究課題ステータス |
完了 (2016年度)
|
| 配分額 *注記 |
5,070千円 (直接経費: 3,900千円、間接経費: 1,170千円)
2016年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2015年度: 2,340千円 (直接経費: 1,800千円、間接経費: 540千円)
2014年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
|
|---|
| キーワード | 計測機器 / 光カロリメータ / MEMS / バイメタル / 大面積 / カロリメータ / 室温動作 / 大気中動作 / 標準器 / 高速高感度 / 常温常圧 |
|---|
| 研究成果の概要 |
マイクロメカニカルなセンサに基づく、低ノイズかつ、大面積な光カロリメータを開発した。バイメタルセンサの熱変形により、光パワー入力で生じた熱量を検出するもので、その微小な変位量は高分解能な光ファイバファブリペロー干渉計で読み取る。今回、SOIマイクロマシン加工技術で作製したSi-Alの大面積（5 mm角）バイメタルMEMSセンサで、光パワー検出分解能～12nWを実験的に達成できた。開発したバイメタルMEMSセンサは、ジョンソンノイズフリーのため、サーモパイルでは達成できない信号対雑音比を達成できる可能性があり、原理的には、室温・大気圧下で1nWを切る分解能が得られるものである。
|
