| 研究課題/領域番号 |
26420738
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
材料加工・組織制御工学
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| 研究機関 | 大阪大学 |
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研究代表者 |
竹中 弘祐 大阪大学, 接合科学研究所, 助教 (60432423)
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| 連携研究者 |
節原 裕一 大阪大学, 接合科学研究所, 教授 (80236108)
内田 儀一郎 大阪大学, 接合科学研究所, 准教授 (90422435)
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| 研究期間 (年度) |
2014-04-01 – 2017-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2016年度)
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| 配分額 *注記 |
5,070千円 (直接経費: 3,900千円、間接経費: 1,170千円)
2016年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2015年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2014年度: 2,470千円 (直接経費: 1,900千円、間接経費: 570千円)
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| キーワード | 酸化亜鉛 / ミストCVD / 大気圧非平衡プラズマ / 透明導電膜 |
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| 研究成果の概要 |
本研究では、大気圧非平衡プラズマ支援による酸化亜鉛薄膜形成技術の開発を念頭に研究を行った。まず大気圧非平衡プラズマを液体に照射させた際のプラズマ液体界面の反応を調べ、プラズマよる水の分解反応よりOHラジカルの生成し、それが酸化に寄与している可能性が示唆された。また酸化亜鉛の製膜形状制御に関する知見を得るために、プラズマに供給されるミストサイズによる製膜形状の影響を調べた。製膜表面を観察したところ半球状の表面構造が確認された。これはプラズマに供給されるミストサイズに依存し、プラズマ中での溶媒の気化速度より生成される粒子形状が変化することを明らかになった。
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