| 研究課題/領域番号 |
26505004
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
オミクス計測科学
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| 研究機関 | 山梨大学 |
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研究代表者 |
二宮 啓 山梨大学, 総合研究部, 准教授 (10402976)
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| 研究協力者 |
平岡 賢三 山梨大学, クリーンエネルギー研究センター, 特命教授 (80107218)
境 悠治 山梨大学, クリーンエネルギー研究センター, 研究員 (10594103)
チェン リーチュイン 山梨大学, 大学院総合研究部, 准教授 (40585577)
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| 研究期間 (年度) |
2014-04-01 – 2017-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2016年度)
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| 配分額 *注記 |
4,940千円 (直接経費: 3,800千円、間接経費: 1,140千円)
2016年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2015年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2014年度: 2,990千円 (直接経費: 2,300千円、間接経費: 690千円)
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| キーワード | 帯電液滴 / 二次イオン質量分析 / イメージング / 深さ方向分析 / イオン銃 / 表面分析 |
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| 研究成果の概要 |
水溶液の真空エレクトロスプレーをビームソースとする真空型帯電液滴ビーム銃の試作機を開発し、電流強度やビーム径を評価した。またその試作機を三重収束飛行時間型質量分析計に設置し、二次イオン質量分析を行うとともに二次イオン収率の絶対値を評価した。さらには帯電液滴ビームをエッチングビームとしても使用し、有機薄膜試料で深さ方向分析が行えることを確認した。以上の結果から、帯電液滴ビームによる二次元イメージング分析と深さ方向分析を融合することで三次元質量分析イメージングを実現できると考えられる。
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