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真空型帯電液滴ビームによる高空間分解能三次元質量分析イメージング

研究課題

研究課題/領域番号 26505004
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
研究分野 オミクス計測科学
研究機関山梨大学

研究代表者

二宮 啓  山梨大学, 総合研究部, 准教授 (10402976)

研究協力者 平岡 賢三  山梨大学, クリーンエネルギー研究センター, 特命教授 (80107218)
境 悠治  山梨大学, クリーンエネルギー研究センター, 研究員 (10594103)
チェン リーチュイン  山梨大学, 大学院総合研究部, 准教授 (40585577)
研究期間 (年度) 2014-04-01 – 2017-03-31
研究課題ステータス 完了 (2016年度)
配分額 *注記
4,940千円 (直接経費: 3,800千円、間接経費: 1,140千円)
2016年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2015年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2014年度: 2,990千円 (直接経費: 2,300千円、間接経費: 690千円)
キーワード帯電液滴 / 二次イオン質量分析 / イメージング / 深さ方向分析 / イオン銃 / 表面分析
研究成果の概要

水溶液の真空エレクトロスプレーをビームソースとする真空型帯電液滴ビーム銃の試作機を開発し、電流強度やビーム径を評価した。またその試作機を三重収束飛行時間型質量分析計に設置し、二次イオン質量分析を行うとともに二次イオン収率の絶対値を評価した。さらには帯電液滴ビームをエッチングビームとしても使用し、有機薄膜試料で深さ方向分析が行えることを確認した。以上の結果から、帯電液滴ビームによる二次元イメージング分析と深さ方向分析を融合することで三次元質量分析イメージングを実現できると考えられる。

報告書

(4件)
  • 2016 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2015 実施状況報告書
  • 2014 実施状況報告書
  • 研究成果

    (19件)

すべて 2017 2016 2015 2014 その他

すべて 雑誌論文 (6件) (うち査読あり 6件、 謝辞記載あり 3件) 学会発表 (10件) (うち国際学会 2件、 招待講演 1件) 備考 (3件)

  • [雑誌論文] Secondary Ion Mass Spectrometry Analysis of Renal Cell Carcinoma with Electrospray Droplet Ion Beams2017

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Ninomiya, Kentaro Yoshimura, Lee Chuin Chen, Sen Takeda, Kenzo Hiraoka
    • 雑誌名

      Mass Spectrometry

      巻: 6 号: 1 ページ: A0053-A0053

    • DOI

      10.5702/massspectrometry.A0053

    • NAID

      130005312295

    • ISSN
      2186-5116, 2187-137X
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Sputtering properties for polyimide by vacuum electrospray droplet impact (V-EDI) using size-selected cluster ions2017

    • 著者名/発表者名
      Yuji Sakai, Satoshi Ninomiya, Kenzo Hiraoka
    • 雑誌名

      Surface and Interface Analysis

      巻: 49 号: 2 ページ: 127-132

    • DOI

      10.1002/sia.6070

    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Secondary ion yields for vacuum-type electrospray droplet beams measured with a triple focus time-of-flight analyzer2016

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Ninomiya, Yuji Sakai, Ryo Watanabe, Mauo Sogou, Takuya Miyayama, Daisuke Sakai, Kastumi Watanabe, Lee Chuin Chen, Kenzo Hiraoka
    • 雑誌名

      Rapid Communications in Mass Spectrometry

      巻: 30 号: 20 ページ: 2279-2284

    • DOI

      10.1002/rcm.7703

    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Secondary ions produced by electrospray droplet impact with m/z selection from 103 to 1062016

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Ninomiya, Lee Chuin Chen, Yuji Sakai, Kenzo Hiraoka
    • 雑誌名

      Journal of Vacuum Science and Technology B

      巻: 34[3] 号: 3

    • DOI

      10.1116/1.4943024

    • 関連する報告書
      2015 実施状況報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] XPS depth analysis of metal/polymer multilayer by vacuum electrospray droplet impact2015

    • 著者名/発表者名
      Yuji Sakai, Rio Takaishi, Satoshi Ninomiya, Kenzo Hiraoka
    • 雑誌名

      Surface and Interface Analysis

      巻: 47[1] 号: 1 ページ: 77-81

    • DOI

      10.1002/sia.5669

    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Evaluation of a diode laser assisted vacuum-type charged droplet beam source2014

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Ninomiya, Lee Chuin Chen, Yuji Sakai, Kenzo Hiraoka
    • 雑誌名

      Surface and Interface Analysis

      巻: 46[S1] 号: S1 ページ: 364-367

    • DOI

      10.1002/sia.5532

    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] 帯電液滴およびガスクラスター衝撃による二次イオンの測定2017

    • 著者名/発表者名
      二宮啓, 十河真生, 坂井大輔, 渡邉勝己, チェンリーチュイン, 平岡賢三
    • 学会等名
      2017年<第64回>応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜 (神奈川県横浜市)
    • 年月日
      2017-03-16
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] 真空型帯電液滴およびクラスタービームによる二次イオン収率2016

    • 著者名/発表者名
      二宮啓, 十河真生, 宮山卓也, 坂井大輔, 渡邉勝己, チェンリーチュイン, 平岡賢三
    • 学会等名
      2016年<第77回>応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      朱鷺メッセ (新潟県新潟市)
    • 年月日
      2016-09-14
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] Time-of-flight secondary ion mass spectrometry with a vacuum-type electrospray droplet ion gun2016

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Ninomiya, Yuji Sakai, Mauo Sogou, Takuya Miyayama, Daisuke Sakai, Katsumi Watanabe, Lee Chuin Chen, Kenzo Hiraoka
    • 学会等名
      The International Symposium on SIMS and Related Techniques Based on Ion-Solid Interactions (SISS-18)
    • 発表場所
      成蹊大学 (東京都武蔵野市)
    • 年月日
      2016-07-21
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 真空型帯電液滴ビームによる二次イオン収率増加効果2016

    • 著者名/発表者名
      二宮啓, 境悠治, 十河真生, 宮山卓也, 坂井大輔, 渡邉勝己, チェンリーチュイン, 平岡賢三
    • 学会等名
      日本学術振興会「マイクロビームアナリシス第141委員会」 第164回研究会
    • 発表場所
      株式会社堀場製作所 東京オフィス (東京都千代田区)
    • 年月日
      2016-05-24
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] 帯電液滴およびGaビーム衝撃により生成される二次イオンの収率2016

    • 著者名/発表者名
      渡邊諒, 二宮啓, 境悠治, チェンリーチュイン, 平岡賢三
    • 学会等名
      第64回質量分析総合討論会
    • 発表場所
      ホテル阪急エキスポパーク (大阪府吹田市)
    • 年月日
      2016-05-18
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] 飛行時間型質量分析計に搭載した真空型帯電液滴ビーム銃による二次イオンの測定2016

    • 著者名/発表者名
      二宮啓, 境悠治, 十河真生, 宮山卓也, 坂井大輔, 渡邉勝己, チェンリーチュイン, 平岡賢三
    • 学会等名
      2016年<第63回>応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学大岡山キャンパス (東京都目黒区)
    • 年月日
      2016-03-19
    • 関連する報告書
      2015 実施状況報告書
  • [学会発表] 真空型帯電液滴ビーム銃の開発と表面分析への応用2015

    • 著者名/発表者名
      二宮啓, 境悠治, チェン・リーチュイン, 平岡賢三
    • 学会等名
      2015年真空・表面科学合同講演会
    • 発表場所
      つくば国際会議場 (茨城県つくば市)
    • 年月日
      2015-12-01
    • 関連する報告書
      2015 実施状況報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Secondary ions produced by electrosprayed droplet impacts with m/z selection from 103 to 1062015

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Ninomiya, Yuji Sakai, Lee Chuin Chen, Kenzo Hiraoka
    • 学会等名
      20th International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry
    • 発表場所
      The Westin Seattle (Seattle, United States)
    • 年月日
      2015-09-13
    • 関連する報告書
      2015 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 真空エレクトロスプレーにより得られる帯電液滴ビームの特性2015

    • 著者名/発表者名
      二宮 啓 境悠治 チェン・リーチュイン 平岡賢三
    • 学会等名
      2015年<第62回>応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東海大学湘南キャンパス(神奈川県・平塚市)
    • 年月日
      2015-03-14
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] 真空下エレクトロスプレーにより生成される帯電液滴の質量電荷比分布2014

    • 著者名/発表者名
      二宮 啓 境悠治 チェン・リーチュイン 平岡賢三
    • 学会等名
      2014年(平成26年)第75回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      北海道大学札幌キャンパス(北海道札幌市)
    • 年月日
      2014-09-18
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [備考] 山梨大学 研究者総覧

    • URL

      http://erdb.yamanashi.ac.jp/rdb/A_DispDetail.Scholar?fid=0&id=A05372ED879330E5

    • 関連する報告書
      2016 実績報告書 2015 実施状況報告書 2014 実施状況報告書
  • [備考] 山梨大学 工学部 研究紹介 新しいイオンビームの開発とその応用に関する研究

    • URL

      http://www.eng.yamanashi.ac.jp/laboratory/sninomiya/

    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [備考] 質量分析・表面分析用の新規イオンビーム銃の研究開発

    • URL

      http://www.ee.yamanashi.ac.jp/sninomiya/

    • 関連する報告書
      2015 実施状況報告書 2014 実施状況報告書

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公開日: 2014-04-04   更新日: 2018-03-22  

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