| 研究課題/領域番号 |
26600058
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
ナノマイクロシステム
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| 研究機関 | 電気通信大学 (2016)
東京大学 (2014-2015) |
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研究代表者 |
菅 哲朗 電気通信大学, 大学院情報理工学研究科, 准教授 (30504815)
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| 研究分担者 |
岩瀬 英治 早稲田大学, 理工学術院, 准教授 (70436559)
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| 研究協力者 |
磯崎 瑛宏
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| 研究期間 (年度) |
2014-04-01 – 2017-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2016年度)
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| 配分額 *注記 |
3,900千円 (直接経費: 3,000千円、間接経費: 900千円)
2015年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
2014年度: 2,470千円 (直接経費: 1,900千円、間接経費: 570千円)
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| キーワード | 表面プラズモン / MEMS / 局所加熱 / 偏光 / 表面プラズモン共鳴 / 熱アクチュエータ |
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| 研究成果の概要 |
光の回折限界を超える極微小領域（10nm～1um）の選択的な機械駆動を実現する技術の構築を目標として、金属ナノ粒子をヒータとして用いた熱駆動型アクチュエータを提案した。楕円体など、等方的でない形状のナノ粒子は、照射光の偏光方向に対して光吸収が100倍以上異なる。これを生かし、複数のナノ粒子を異なる向きで配置し、特定の偏光を持つ光を照射することで、特定のナノ粒子だけを選択加熱することができ、局所加熱によるマイクロ構造の選択駆動が可能である。本提案では、ナノ粒子の構造と入射光の波長、偏光による発熱量の変化について理論解析し、局所加熱により3軸駆動を実現するMEMS構造の設計と試作に取り組んだ。
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