| 研究課題/領域番号 |
26600063
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
ナノマイクロシステム
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| 研究機関 | 大阪大学 |
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研究代表者 |
筒井 真楠 大阪大学, 産業科学研究所, 准教授 (50546596)
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| 研究期間 (年度) |
2014-04-01 – 2016-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2015年度)
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| 配分額 *注記 |
3,900千円 (直接経費: 3,000千円、間接経費: 900千円)
2014年度: 3,900千円 (直接経費: 3,000千円、間接経費: 900千円)
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| キーワード | マイクロナノセンサー / ナノマイクロセンサー / 熱電 / 量子効果 |
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| 研究成果の概要 |
本研究では、ヒータ/温度計組込み型機械的破断接合を用いてサイズ可変ビスマス1次元ナノワイヤーを作製する手法を構築した。ビスマスナノ接合の作製では、ビスマス成膜時にプラズマエッチングに対する保護層として白金層をスパッタ成膜することで、酸素プラズマ処理後においても、フリースタンディングなビスマス接合構造を損傷なく残すことができた。ビスマス接合の電気伝導度測定を行った結果、接合の狭窄過程において引っ張り応力の付加に伴いビスマス原子サイズ接合の原子配列が変化したことに起因する電気伝導度の階段状の変化が観察された。以上のように、ビスマスMCBJ素子の作製及び熱電特性測定法の創成に成功した。
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