| 研究課題/領域番号 |
26600064
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
ナノマイクロシステム
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| 研究機関 | 香川大学 |
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研究代表者 |
高尾 英邦 香川大学, 工学部, 教授 (40314091)
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| 研究期間 (年度) |
2014-04-01 – 2017-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2016年度)
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| 配分額 *注記 |
3,900千円 (直接経費: 3,000千円、間接経費: 900千円)
2016年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2015年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
2014年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
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| キーワード | 微小ジェット / マイクロデバイス / 放電プラズマ / マイクロ・ナノデバイス / 先端機能デバイス / プラズマ加工 |
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| 研究成果の概要 |
本研究では，複数の微小流路にガスや液体を流して放電を独立制御し，複数種類のガスプラズマや液体の噴流（ジェット）を微小空間で同時かつ任意の組み合わせで生成可能なアレイ型多機能放電ジェットデバイスの実現を目指した基礎研究を推進した。高密度・多種類の放電ジェットを独立制御することで，ジェットアレイ全体の形状，相対位置，構成ガスの分布や照射の時系列関係を自在に変化させることが可能である。当該期間においては，本技術の実現可能性と有効性の検証を目指し，微小流路構造，ならびに放電電極アレイの製作技術からデバイス実装手段の検討，噴流発生原理の検討と検証までを行った。
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