| 研究課題/領域番号 |
26600074
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
応用物性
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| 研究機関 | 大阪大学 |
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研究代表者 |
田中 秀和 大阪大学, 産業科学研究所, 教授 (80294130)
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| 連携研究者 |
神吉 輝夫 大阪大学, 産業科学研究所, 准教授 (40448014)
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| 研究期間 (年度) |
2014-04-01 – 2016-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2015年度)
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| 配分額 *注記 |
3,900千円 (直接経費: 3,000千円、間接経費: 900千円)
2015年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2014年度: 2,340千円 (直接経費: 1,800千円、間接経費: 540千円)
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| キーワード | MEMS / 先端機能デバイス / セラミックス / 強相関電子系 |
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| 研究成果の概要 |
パルスレーザーデポジション法とフォト/ナノインプリントリソグラフィーを融合し、VO2マイクロ/ナノリースタンディング構造体の作製に成功した。サイズは幅5um, 1um, 400nmである。作製したフリースタンディング構造は、340K近傍にて薄膜とほぼ同等の3桁程度の抵抗変化を示し、基板に固定されたデバイスに比べて、2桁以上も小さな電力で金属-絶縁体相転移させることに成功した。幅400nmのデバイスにおいては、ナノ電子相ドメインのナノ構造への補足に起因する、さらに急峻な抵抗変化を確認した。今後の機能性酸化物NEMS分野の展開の基礎を示すことが出来たと判断される。
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