研究課題/領域番号 |
26600085
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研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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配分区分 | 基金 |
研究分野 |
結晶工学
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研究機関 | 大阪大学 |
研究代表者 |
伊藤 利道 大阪大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (00183004)
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研究期間 (年度) |
2014-04-01 – 2016-03-31
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研究課題ステータス |
完了 (2015年度)
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配分額 *注記 |
3,900千円 (直接経費: 3,000千円、間接経費: 900千円)
2015年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2014年度: 2,730千円 (直接経費: 2,100千円、間接経費: 630千円)
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キーワード | CVDダイヤモンド / マイクロ波プラズマCVD / 液中プロセス / 負性電子親和力 / 超音波 / キャビテーション / マイクロ波プラズマ / 多結晶ダイヤモンド |
研究成果の概要 |
固体表面から電子が取り出しやすくなる負性電子親和力(NEA)状態のダイヤモンド表面を簡便に再生できるプロセスを開発し、それを活用することを目指し、まず、高品質マイクロ波プラズマCVDダイヤモンドNEA表面を一旦正の電子親和力状態にした後、液中で適切に超音波処理した結果、そのプロセスによりNEA表面状態を回復できる可能性を見出した。次に、走査型電子顕微鏡で得られる局所的2次電子信号強度の定量解析に基づいたNEA状態の簡便な半定量評価方法を提案し、その提案方法を適用しダイヤモンドの結晶品質評価ができる可能性を示した。しかし、当該再生プロセスの制御性の向上や機構解明は今後の研究に委ねられた。
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