| 研究成果の概要 |
金属酸化物の微小化・集積化は,通常,異種の膜の成長と微細加工によるが, 酸素の高 反応性や拡散で,欠陥の生成や結晶性の低下が起こり,本来の機能が発現し難い。この主因は, 膜形成時の気相・液相の原子の高活性と,微細加工時の損傷である。
この解決のため, 金属酸化物“結晶”のナノスケール接近時の“トンネル電子”を用いて, 安定な微小ヘテロ接合(異種の膜の積層)を形成する原理を提出した。さらに, 強誘電体の分極を用い,制御性・選択性を向上した。このように作製した微小へテロ接合の結晶性,光物性,電気特性の基本特性を解明し, 金属酸化物ナノ構造の製造法の新しい原理を開拓した。
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