研究課題/領域番号 |
26600094
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研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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配分区分 | 基金 |
研究分野 |
薄膜・表面界面物性
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研究機関 | 長岡技術科学大学 |
研究代表者 |
安井 寛治 長岡技術科学大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (70126481)
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連携研究者 |
玉山 泰宏 長岡技術科学大学, 工学部, 助教 (50707312)
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研究期間 (年度) |
2014-04-01 – 2016-03-31
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研究課題ステータス |
完了 (2015年度)
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配分額 *注記 |
4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円)
2015年度: 390千円 (直接経費: 300千円、間接経費: 90千円)
2014年度: 3,640千円 (直接経費: 2,800千円、間接経費: 840千円)
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キーワード | 触媒反応 / ラバールノズル / 高エネルギー水分子 / 圧力センサー |
研究成果の概要 |
白金ナノ粒子表面の触媒反応で生成しラバールノズルにより形成した高エネルギーH2Oビームのエネルギー状態を解析しノズル構造の最適化を目的に研究を行った結果、以下の結果を得た。 1.H2Oビームのスケーリングパラメータは200以下であり、平均クラスターサイズは1以下と推定された。2.ノズル開口角の異なるラバールノズルを用いてサファイア基板上にZnO結晶膜を成長させたところ開口角によらず結晶配向性にすぐれ、電子移動度の大きな結晶膜が得られた。3.容量結合型MEMS圧力センサーを用いてビームの圧力のノズル開口角依存性を得たが、圧力から換算したH2O分子の運動エネルギーは、予想より約2桁小さい値となった。
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