• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 前のページに戻る

触媒反応生成高エネルギー水分子ビームのエネルギー解析

研究課題

研究課題/領域番号 26600094
研究種目

挑戦的萌芽研究

配分区分基金
研究分野 薄膜・表面界面物性
研究機関長岡技術科学大学

研究代表者

安井 寛治  長岡技術科学大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (70126481)

連携研究者 玉山 泰宏  長岡技術科学大学, 工学部, 助教 (50707312)
研究期間 (年度) 2014-04-01 – 2016-03-31
研究課題ステータス 完了 (2015年度)
配分額 *注記
4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円)
2015年度: 390千円 (直接経費: 300千円、間接経費: 90千円)
2014年度: 3,640千円 (直接経費: 2,800千円、間接経費: 840千円)
キーワード触媒反応 / ラバールノズル / 高エネルギー水分子 / 圧力センサー
研究成果の概要

白金ナノ粒子表面の触媒反応で生成しラバールノズルにより形成した高エネルギーH2Oビームのエネルギー状態を解析しノズル構造の最適化を目的に研究を行った結果、以下の結果を得た。
1.H2Oビームのスケーリングパラメータは200以下であり、平均クラスターサイズは1以下と推定された。2.ノズル開口角の異なるラバールノズルを用いてサファイア基板上にZnO結晶膜を成長させたところ開口角によらず結晶配向性にすぐれ、電子移動度の大きな結晶膜が得られた。3.容量結合型MEMS圧力センサーを用いてビームの圧力のノズル開口角依存性を得たが、圧力から換算したH2O分子の運動エネルギーは、予想より約2桁小さい値となった。

報告書

(3件)
  • 2015 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2014 実施状況報告書
  • 研究成果

    (19件)

すべて 2016 2015 その他

すべて 雑誌論文 (3件) (うち査読あり 3件、 謝辞記載あり 3件) 学会発表 (15件) (うち国際学会 8件、 招待講演 1件) 備考 (1件)

  • [雑誌論文] H2O beams for zinc oxide film growth produced by a Pt-catalyzed H2-O2 reaction at various divergent aperture angles of a de Laval nozzle2016

    • 著者名/発表者名
      Yusuke Teraguchi, Yuki Ishidzuka, Tomoki Nakamura, Kazumasa Takahashi, Yasuhiro Tamayama, Nobuhiro Harada, Kanji Yasui
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 55 号: 2S ページ: 02BC12-02BC12

    • DOI

      10.7567/jjap.55.02bc12

    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Effect of N2O-doped buffer layer on the optical properties of ZnO films grown on glass substrates using high-energy H2O generated by catalytic reaction2016

    • 著者名/発表者名
      Shingo Kanauchi, Yuki Ohashi, Koichiro Ohishi, Hironori Katagiri, Yasuhiro Tamayama, Takahiro Kato, Kanji Yasui
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 55 号: 2S ページ: 02BC14-02BC14

    • DOI

      10.7567/jjap.55.02bc14

    • NAID

      210000146083

    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Effects of N2O gas addition on the properties of ZnO films grown by catalytic reaction-assisted chemical vapor deposition2015

    • 著者名/発表者名
      Kanji Yasui, Makoto Morioka, Shingo Kanauchi, Yuki Ohashi, Takahiro Kato, Yasuhiro Tamayama
    • 雑誌名

      J. Vac. Sci. & Technol. A

      巻: 33 号: 6

    • DOI

      10.1116/1.4935334

    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [学会発表] 触媒反応生成高エネルギーH2Oビームの運動エネルギー評価2016

    • 著者名/発表者名
      寺口祐介, 田島諒一,玉山泰宏, 安井寛治
    • 学会等名
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学大岡山キャンパス、東京
    • 年月日
      2016-03-19
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] Catalytic reaction assisted chemical vapor deposition for the growth of metal oxide thin films under energy-saving condition2015

    • 著者名/発表者名
      K. Yasui, Takahiro Kato, Abdul Manaf Hashim
    • 学会等名
      Int. Union of Material Research Societies-Int. Conf. on Advanced Mater. (IUMRS-ICAM) 2015
    • 発表場所
      ICC, Jeju, Korea
    • 年月日
      2015-10-26
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] H2O beam produced by a Pt-catalyzed H2 - O2 reaction for various opening angles of Laval nozzle2015

    • 著者名/発表者名
      Y. Teraguchi, R. Tajima, T. Nakamura, K. Takahashi, Y. Tamayama, K. Yasui
    • 学会等名
      Int. Union of Material Research Societies-Int. Conf. on Advanced Mater. (IUMRS-ICAM) 2015
    • 発表場所
      ICC, Jeju, Korea
    • 年月日
      2015-10-26
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Effect of nitrogen doped layer on the characteristics of ZnO films on glass substrates grown by catalytic reaction assisted chemical vapor deposition2015

    • 著者名/発表者名
      Y. Ishizuka, S. Kanauchi, Y. Ohashi, K. Ohishi, H. Katagiri, Y. Tamayama, K. Yasui
    • 学会等名
      Int. Union of Material Research Societies-Int. Conf. on Advanced Mater. (IUMRS-ICAM) 2015
    • 発表場所
      ICC, Jeju, Korea
    • 年月日
      2015-10-26
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] High-energy H2O beam generated by Pt-catalyzed exothermic H2-O2 reaction2015

    • 著者名/発表者名
      Y. Teraguchi, T. Nakamura, K. Takahashi, Y. Tamayama, K. Yasui
    • 学会等名
      9th Int. Symp. on Transparent Oxide and Related Materials for Electronics and Optics (TOEO-9)
    • 発表場所
      Epocal Tsukuba, Tsukuba, Japan
    • 年月日
      2015-10-19
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Influence of N2O-added initial growth layer on the characteristics of ZnO films grown on glass substrates by catalytic reaction assisted chemical vapor deposition2015

    • 著者名/発表者名
      Y. Ishidzuka, Y. Ohashi, K. Oishi, H. Katagiri, Y. Tamayama, T. Kato, K. Yasui
    • 学会等名
      9th Int. Symp. on Transparent Oxide and Related Materials for Electronics and Optics (TOEO-9)
    • 発表場所
      Epocal Tsukuba, Tsukuba, Japan
    • 年月日
      2015-10-19
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] High-temperature H2O beam generated by a catalytic reaction for the growth of metal oxide thin films2015

    • 著者名/発表者名
      Y. Teraguchi, T. Nakamura, K. Takahashi, Y. Tamayama, T. Kato, K. Yasui
    • 学会等名
      第76回 応用物理学会秋季学術講演会、 English Session
    • 発表場所
      名古屋国際会議場、名古屋
    • 年月日
      2015-09-13
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] 触媒反応生成高エネルギーH2Oビームのノズル開口角依存性2015

    • 著者名/発表者名
      寺口祐介、田島諒一、中村友紀、高橋一匡、玉山泰宏、安井寛治
    • 学会等名
      電子情報通信学会材料デバイスサマーミーティング
    • 発表場所
      機械振興会館、東京
    • 年月日
      2015-06-19
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] 触媒反応生成高エネルギーH2Oビームのノズル開口角依存性2015

    • 著者名/発表者名
      寺口祐介、田島諒一、中村友紀、高橋一匡、玉山泰宏、安井寛治
    • 学会等名
      電子情報通信学会 エレクトロニクスソサイエティ 材料デバイスサマーミーティング
    • 発表場所
      機械振興会館、東京
    • 年月日
      2015-06-19
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] Crystal structure of ZnO thin films grown using high-energy H2O beam generated by a catalytic reaction and the energy state of the H2O beam2015

    • 著者名/発表者名
      Y. Teraguchi, T. Nakamura, Y. Ishiduka, K. Takahashi, Y. Tamayama, K. Yasui
    • 学会等名
      The 5th International Symposium on Organic and Inorganaic Electronic Materials and related Nanotechnologies
    • 発表場所
      トキメッセ、新潟市
    • 年月日
      2015-06-16 – 2015-06-19
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] Crystal structure of ZnO thin films grown using high-energy H2O beam generated by a catalytic reaction and the energy state of the H2O beam2015

    • 著者名/発表者名
      Y. Teraguchi, T. Nakamura, Y. Ishiduka, K. Takahashi, Y. Tamayama, K. Yasui
    • 学会等名
      5th Int. Symp. on Organic and Inorganaic Electronic Materials and related Nanotechnologies
    • 発表場所
      TOKI MESSE, Niigata, Japan
    • 年月日
      2015-06-16
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Influence of NO gas addition on the properties of ZnO films grown on a-plane sapphire substrates using high-temperature H2O generated by a catalytic reaction2015

    • 著者名/発表者名
      Y. Ishidzuka, Y. Oohashi, Y. Tamayama, T. Kato, K. Yasui
    • 学会等名
      5th Int. Symp. on Organic and Inorganaic Electronic Materials and related Nanotechnologies
    • 発表場所
      TOKI MESSE, Niigata, Japan
    • 年月日
      2015-06-16
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Crystalline structure and defect distribution of ZnO films on a-plane sapphire substrates grown by catalytic reaction assisted chemical vapor deposition2015

    • 著者名/発表者名
      S. Kanauchi, T. Nakamura, N. Yamaguchi, Y. Tamayama, K. Yasui
    • 学会等名
      2015 MRS Spring Meeting
    • 発表場所
      San Francisco, USA
    • 年月日
      2015-04-06
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] ラバールノズルから放出された触媒反応生成高エネルギーH2Oビームエネルギーのエネルギー状態2015

    • 著者名/発表者名
      叶内慎吾,中村友紀,石塚侑己,高橋一匡,玉山泰宏,安井寛治
    • 学会等名
      第62回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東海大学湘南キャンパス、平塚市
    • 年月日
      2015-03-11 – 2015-03-14
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] 超音速ノズルから放出された触媒反応生成H2Oビームエネルギーの開口角依存生2015

    • 著者名/発表者名
      寺口祐介,中村友紀,石塚侑己,高橋一匡,玉山泰宏,安井寛治
    • 学会等名
      2015年電子情報通信学会総合大会
    • 発表場所
      立命館大学びわこ草津キャンパス、草津市
    • 年月日
      2015-03-10 – 2015-03-13
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [備考] 半導体工学研究室

    • URL

      http://kyasuiweb.nagaokaut.ac.jp/02-2.html

    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書

URL: 

公開日: 2014-04-04   更新日: 2017-05-10  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi