| 研究課題/領域番号 |
26600131
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
応用物理学一般
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| 研究機関 | 埼玉大学 |
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研究代表者 |
田井野 徹 埼玉大学, 情報メディア基盤センター, 准教授 (40359592)
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| 研究期間 (年度) |
2014-04-01 – 2017-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2016年度)
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| 配分額 *注記 |
3,900千円 (直接経費: 3,000千円、間接経費: 900千円)
2016年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2015年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2014年度: 2,210千円 (直接経費: 1,700千円、間接経費: 510千円)
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| キーワード | 放射線 / 高性能フォトンセンサー / 高性能フォトンセンサ |
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| 研究成果の概要 |
本研究は、次世代のフォトン検出器である超伝導トンネル接合素子（STJ）の実用化について、コイルの小型化とフォノンノイズ低減を着目した。コイルの小型化は、基板上にコイルを集積し、特にコイルは基板内に埋め込まれた構造を提案した。平坦化を含む埋め込みコイル作製方法の最適化により、そのコイルへの通電及びコイル上のSTJは良好な特性を示した。フォノンノイズについて、コイルとSTJとの間の層間絶縁膜の音響インピーダンスに着目し、Al2O3を用いてSTJの作製に成功した。
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