研究課題
挑戦的萌芽研究
10keV以下の軟X線の大立体角監視には超新星爆発の瞬間のショックブレイクアウトX線を始め,突発天体の豊富なサイエンスが存在する.そこで大立体角監視X線カメラの実現を目指す.本研究ではこれに必要なX線SOIPIX素子の基礎開発を行った.(1) 回路層での回路や配線の配置を変更することで,電荷雲重心法による高空間分解能に必要な高い電荷収集効率を得た.(2) 高い軟X線感度を得るために,裏面プロセスとして,レーザーアニールとピザプロセスの2つを試した.その結果,要求性能(1um以下)を満たす見込みを得た.
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すべて 雑誌論文 (11件) (うち国際共著 1件、 査読あり 4件、 謝辞記載あり 1件、 オープンアクセス 2件) 学会発表 (10件) (うち国際学会 3件、 招待講演 5件)
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