| 研究課題/領域番号 |
26610195
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
プラズマ科学
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| 研究機関 | 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 (2016-2017)
国立研究開発法人日本原子力研究開発機構 (2014-2015) |
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研究代表者 |
佐々木 明 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構, 関西光科学研究所 光量子科学研究部, 主幹研究員(定常) (10215709)
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| 研究分担者 |
砂原 淳 大阪大学, レーザー科学研究所, 招へい准教授 (00370213)
西原 功修 大阪大学, レーザー科学研究所, 名誉教授 (40107131)
西川 亘 岡山大学, 自然科学研究科, 助教 (80243492)
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| 研究期間 (年度) |
2014-04-01 – 2018-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2017年度)
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| 配分額 *注記 |
3,120千円 (直接経費: 2,400千円、間接経費: 720千円)
2016年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2015年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2014年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
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| キーワード | レーザー生成プラズマ / 流体シミュレーション / EUV光源 / 状態方程式 / 相転移 / 臨界現象 |
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| 研究成果の概要 |
レーザープラズマ励起(LPP)極端紫外(EUV)光源において、短パルスレーザーによって照射された液滴が粒子になって飛散する機構の解明と、それを計算で再現する手法の確率を目指した研究開発を行なった。
2次元ラングランジ流体のシミュレーションコードに、物質の分布に従ってメッシュを再配置する手法、気相と液相の間の相転移による気泡や粒子の精製のモデルを組み込んだ。スズのファンデルワールス状態方程式を用い、平均温度、密度に対する気相と液相の比を求め、それを満足するようにセルの分割、諸量の再配分を行う方法を開発した。初期に液体状態のスズ円柱ターゲットを、均一、時間的に一定の条件で加熱するテスト計算を行った。
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