| 研究課題/領域番号 |
26630015
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
生産工学・加工学
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| 研究機関 | 東北大学 |
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研究代表者 |
高 偉 東北大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (70270816)
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| 研究分担者 |
清水 裕樹 東北大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (70606384)
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| 研究期間 (年度) |
2014-04-01 – 2016-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2015年度)
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| 配分額 *注記 |
3,770千円 (直接経費: 2,900千円、間接経費: 870千円)
2015年度: 2,340千円 (直接経費: 1,800千円、間接経費: 540千円)
2014年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
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| キーワード | ナノ計測 / マイクロエッジ / AFM / 反転エッジ / MDシミュレーション / アクチュエータ / 圧力センサ / FTS / ダイヤモンド工具 |
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| 研究成果の概要 |
本研究題目では，軟質金属表面に転写した単結晶ダイヤモンド切削工具マイクロ刃先の反転エッジの三次元精密形状測定より，マイクロエッジ絶対形状をサブナノメートルオーダーの超高精度で自律的に計測することを目的とした．
分子動力学(MD)シミュレーションに基づく原子スケールでの反転エッジ形成過程の最適化により，反転エッジ法を用いてサブナノメートルの超高精度三次元形状計測への有効性を示した．また工具運動と加工力を高分解能かつ高感度に測定可能な高感度加工力検出型工具サーボを構築し，提案手法の有効性について実験的な検証を実施した．
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