| 研究課題/領域番号 |
26630016
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
生産工学・加工学
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| 研究機関 | 東北大学 |
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研究代表者 |
中川 勝 東北大学, 多元物質科学研究所, 教授 (10293052)
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| 研究協力者 |
石戸 洋太
松原 信也
菊地 英里
伊東 駿也
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| 研究期間 (年度) |
2014-04-01 – 2016-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2015年度)
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| 配分額 *注記 |
3,900千円 (直接経費: 3,000千円、間接経費: 900千円)
2015年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2014年度: 2,340千円 (直接経費: 1,800千円、間接経費: 540千円)
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| キーワード | 生産技術 / アライメント / ナノ加工 / マイクロ・ナノデバイス / ナノインプリント / 蛍光 / ナノ材料 / 高分子合成 / 超薄膜 / 表面・界面物性 / 材料加工・処理 / 高分子構造・物性 / 表面電位 |
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| 研究成果の概要 |
光硬化性蛍光組成物の蛍光発光に着目し、シリコン基板とシリカモールドとの間に光硬化性組成物が配置されたin-liquid状態でのアライメント法の研究を行った。光硬化性組成物がモールドの空隙に充填されると反射光学顕微鏡観察ではモールドと光硬化性組成物の屈折率が近いことによりアライメントが行えないが、蛍光顕微鏡観察ではモールドに特殊な表面加工を施すことなく観察できることを示した。十字マークを基盤としたコースアライメント法、ならびに蛍光干渉縞の発生による精密アライメント法における課題抽出が行えた。
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