| 研究課題/領域番号 |
26630025
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
生産工学・加工学
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| 研究機関 | 豊橋技術科学大学 |
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研究代表者 |
柴田 隆行 豊橋技術科学大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (10235575)
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| 研究期間 (年度) |
2014-04-01 – 2016-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2015年度)
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| 配分額 *注記 |
3,900千円 (直接経費: 3,000千円、間接経費: 900千円)
2015年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2014年度: 2,340千円 (直接経費: 1,800千円、間接経費: 540千円)
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| キーワード | ナノ加工 / 原子間力顕微鏡（AFM） / AFM加工 / ナノファブリケーション / 触媒援用加工 / 白金触媒AFMプローブ / 酸化チタン光触媒AFMプローブ |
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| 研究成果の概要 |
本研究では，白金（Pt）触媒または酸化チタン（TiO2）光触媒を被覆した原子間力顕微鏡（AFM）プローブを加工用ツールとし，探針先端の極近傍のみに化学反応を局在化することで，ナノメートルレベルの除去加工を行う新規なナノ化学加工技術を開発した．Pt触媒AFMプローブを用いた純水中での単結晶Siのナノ化学加工（エッチング），TiO2光触媒AFMプローブを用いた生体分子（DNA）のパターニング（局所光分解反応）および細胞のナノ化学加工技術（細胞膜穿孔）としての有効性を実証した．
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