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超微細パルスレーザー加工過程におけるナノ局所界面温度・物性の選択的ラマン計測

研究課題

研究課題/領域番号 26630027
研究種目

挑戦的萌芽研究

配分区分基金
研究分野 生産工学・加工学
研究機関大阪大学

研究代表者

高谷 裕浩  大阪大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (70243178)

研究分担者 道畑 正岐  大阪大学, 大学院工学研究科, 助教 (70588855)
研究期間 (年度) 2014-04-01 – 2016-03-31
研究課題ステータス 完了 (2015年度)
配分額 *注記
3,900千円 (直接経費: 3,000千円、間接経費: 900千円)
2015年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円)
2014年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
キーワード超短パルスレーザー加工 / ラマン散乱計測 / ナノ微細加工 / ナノ粒子 / ナノ局所界面 / 局在型表面プラズモン / 伝搬型表面プラズモン / 超微細レーザー加工計測 / レーザーアブレーション / 電子増強ラマン散乱効果
研究成果の概要

電子増強ラマン散乱効果(EERS: Electron Enhanced Raman Scattering)によるラマン散乱計測技術を確立するため,測定感度や分解能などにおいて未知な点が多い,水中のナノ局所界面空間で起こる現象による前方・後方ラマン散乱計測手法の基礎的な検討として,EERSを誘起するための励起用ナノ粒子として用いる水酸化フラーレンと銅の反応系を利用した,表面プラズモン励起前方・後方ラマン散乱の時系列計測を遂行した.水酸化フラーレンと銅の相互作用とその過程におけるナノ表面微細構造変化を同時計測することにより,前方・後方ラマン散乱によるナノ局所界面現象解析の可能性を示した.

報告書

(3件)
  • 2015 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2014 実施状況報告書
  • 研究成果

    (3件)

すべて 2016 2015

すべて 学会発表 (3件) (うち国際学会 1件)

  • [学会発表] 表面増強ラマン分光法による反応性ナノ粒子を用いたCu-CMPの化学的研磨作用分析2016

    • 著者名/発表者名
      旭真史,高谷裕浩,水谷康弘
    • 学会等名
      2016年度精密工学会学術講演会春季大会
    • 発表場所
      東京理科大学 野田キャンパス(千葉県・野田市)
    • 年月日
      2016-03-15
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] Analysis of chemical reaction in Cu-CMP with reactive nanoparticles based on Raman spectra enhanced by surface plasmon2015

    • 著者名/発表者名
      Masafumi ASAHI, Yasuhiro TAKAYA, Masaki MICHIHATA
    • 学会等名
      Leading Edge Manufacturing in 21st Century
    • 発表場所
      京都リサーチパーク (京都府・京都市)
    • 年月日
      2015-10-18
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 表面増強ラマン分光法による水酸化フラーレンを用いたCu-CMPの化学反応プロセス解析―表面増強ラマン分光装置の検証―2015

    • 著者名/発表者名
      旭真史,高谷裕浩,水谷康弘
    • 学会等名
      2015年度砥粒加工学会学術講演会
    • 発表場所
      慶応大学(神奈川県・横浜市)
    • 年月日
      2015-09-09
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書

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公開日: 2014-04-04   更新日: 2017-05-10  

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