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マイクロ駆動機構付きプローブによる高精度すきま制御型摩擦力顕微鏡

研究課題

研究課題/領域番号 26630039
研究種目

挑戦的萌芽研究

配分区分基金
研究分野 設計工学・機械機能要素・トライボロジー
研究機関名古屋大学

研究代表者

福澤 健二  名古屋大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (60324448)

研究期間 (年度) 2014-04-01 – 2016-03-31
研究課題ステータス 完了 (2015年度)
配分額 *注記
3,900千円 (直接経費: 3,000千円、間接経費: 900千円)
2015年度: 1,950千円 (直接経費: 1,500千円、間接経費: 450千円)
2014年度: 1,950千円 (直接経費: 1,500千円、間接経費: 450千円)
キーワード摩擦力顕微鏡 / トライボロジー / 走査型プローブ顕微鏡 / ナノトライボロジー / マイクロマシン / プローブ顕微鏡
研究成果の概要

微細加工技術の進展に伴い,極小しゅう動すきまを介した機械要素間の潤滑技術が求められている.微小すきまの潤滑現象の解明に必須な,すきまを精密に規定して摩擦力および荷重を測定する方法の確立を目的として,従来の荷重制御型の摩擦力顕微鏡ではなく,すきま制御型の摩擦力顕微鏡の確立を試みた.プローブに駆動機構を付与するという新規な着想に基づき,高精度すきま制御可能な摩擦力顕微鏡を提案し,原理確認に成功した.

報告書

(3件)
  • 2015 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2014 実施状況報告書
  • 研究成果

    (1件)

すべて 2016

すべて 学会発表 (1件)

  • [学会発表] 静電駆動機構を付与したすきま制御可能な摩擦力顕微鏡プローブの開発2016

    • 著者名/発表者名
      福澤 健二,高橋 幹人,伊藤 伸太郎,張 賀東
    • 学会等名
      IIP2016 日本機械学会情報・知能・精密機器部門(IIP部門)講演会
    • 発表場所
      東洋大学(東京)
    • 年月日
      2016-03-15
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書

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公開日: 2014-04-04   更新日: 2017-05-10  

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