| 研究課題/領域番号 |
26630127
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
電子・電気材料工学
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| 研究機関 | 北陸先端科学技術大学院大学 |
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研究代表者 |
井上 聡 北陸先端科学技術大学院大学, グリーンデバイス研究センター, 特任教授 (60553237)
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| 研究分担者 |
徳光 永輔 北陸先端科学技術大学院大学, グリーンデバイス研究センター, 教授 (10197882)
下田 達也 北陸先端科学技術大学院大学, マテリアルサイエンス研究科, 教授 (70447689)
増田 貴史 北陸先端科学技術大学院大学, マテリアルサイエンス研究科, 助教 (70643138)
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| 研究期間 (年度) |
2014-04-01 – 2016-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2015年度)
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| 配分額 *注記 |
3,900千円 (直接経費: 3,000千円、間接経費: 900千円)
2015年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
2014年度: 2,210千円 (直接経費: 1,700千円、間接経費: 510千円)
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| キーワード | Silicon carbide / Solution process / Power device / Liquid material / Contact resistance |
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| 研究成果の概要 |
液体シリコン材料と液体カーボン材料を原料としてSiC-inkを合成し、それを用いて成膜したSiC膜の物性評価とデバイスへの応用を検討した。液相蒸着法によりp型Si膜を作製し、IPES法によりCBMを、PYS法によりVBMを測定したところ、SiC-inkにおけるカーボン材料比率の増大に伴い、CBMとVBMそれぞれがBand Gapの増大する方向にシフトすることが確認された。このSiC膜を用いることで、SiCパワーデバイスにおけるPchコンタクト部の抵抗を低減することが可能になる。
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