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コンタクトエピタキシャル法を用いたシリコンフォトニクス用光アイソレータの研究

研究課題

研究課題/領域番号 26630166
研究種目

挑戦的萌芽研究

配分区分基金
研究分野 電子デバイス・電子機器
研究機関神奈川工科大学

研究代表者

中津原 克己  神奈川工科大学, 工学部, 教授 (70339894)

研究分担者 水本 哲弥  東京工業大学, 工学院, 教授 (00174045)
野毛 悟  沼津工業高等専門学校, その他部局等, 教授 (10221483)
研究協力者 榊原 健太郎  神奈川工科大学, 工学研究科, 大学院生
清藤 将人  神奈川工科大学, 工学研究科, 大学院生
金久保 渉  神奈川工科大学, 工学研究科, 大学院生
端山 喜紀  神奈川工科大学, 工学研究科, 大学院生
研究期間 (年度) 2014-04-01 – 2017-03-31
研究課題ステータス 完了 (2016年度)
配分額 *注記
3,900千円 (直接経費: 3,000千円、間接経費: 900千円)
2016年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2015年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2014年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
キーワード光アイソレータ / 磁気光学効果 / 異種材料 / 光導波路 / シリコンフォトニクス
研究成果の概要

集積化に適した光アイソレータの実現に向け、シリコン導波路上に磁気光学ガーネットであるセリウム置換イットリウム鉄ガーネット(Ce:YIG)を形成するための基礎研究を行った。シリコン上に非晶質状態のCe:YIG薄膜を積層後、種結晶をコンタクトさせて結晶化を図るコンタクトエピタキシャル法の条件探索を行い、非処理のCe:YIG装荷シリコン導波路に対して伝搬損失が低減されることを明らかにした。さらにコンタクトエピタキシャル法を施したシリコン上のCe:YIG膜のX線回折評価において強いピーク強度が得られ、結晶性の向上が示され、ファラデー回転係数の測定においても磁気光学効果の発現が確認された。

報告書

(4件)
  • 2016 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2015 実施状況報告書
  • 2014 実施状況報告書
  • 研究成果

    (10件)

すべて 2017 2016 2015 2014 その他

すべて 学会発表 (9件) 備考 (1件)

  • [学会発表] コンタクトエピタキシャル法を用いたSi上Ce:YIG薄膜の結晶化の基礎検討2017

    • 著者名/発表者名
      飯島 夏来, 石黒 一希, 武田 正行, 中津原 克己, 野毛 悟, 水本 哲弥, 庄司雄哉
    • 学会等名
      電子情報通信学会光エレクトロニクス研究会
    • 発表場所
      熱海
    • 年月日
      2017-04-20
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] 集積型光アイソレータ実現のための薄膜形成条件の検討2017

    • 著者名/発表者名
      岩田 将輝, 野毛 悟, 中津原 克己
    • 学会等名
      電子情報通信学会総合大会
    • 発表場所
      リゾーピア熱海(静岡)
    • 年月日
      2017-03-24
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] コンタクトエピタキシャル法を用いたCe:YIG膜形成のためのSi導波路製作プロセスの検討2016

    • 著者名/発表者名
      飯島 夏来, 清藤 将人, 武田 正行, 中津原 克己, 野毛 悟, 水本 哲弥
    • 学会等名
      電子情報通信学会光エレクトロニクス研究会
    • 発表場所
      リゾーピア熱海(静岡)
    • 年月日
      2016-04-21
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] 導波路型光アイソレータのためのCe:YIG装荷Si導波路形成技術の基礎検討2016

    • 著者名/発表者名
      清藤将人, 武田正行, 中津原克己, 野毛悟, 水本哲弥
    • 学会等名
      電子情報通信学会 集積光デバイスと応用技術研究会
    • 発表場所
      三島
    • 年月日
      2016-03-03
    • 関連する報告書
      2015 実施状況報告書
  • [学会発表] Si系光集積回路に適用可能なコンタクトエピタキシャル法の検討2016

    • 著者名/発表者名
      白鳥大毅, 多田拓, 望月夏鈴, 野毛悟
    • 学会等名
      電子情報通信学会 集積光デバイスと応用技術研究会
    • 発表場所
      三島
    • 年月日
      2016-03-03
    • 関連する報告書
      2015 実施状況報告書
  • [学会発表] 非対称マッハツェンダーを用いたCe:YIG 装荷Si導波路の伝搬損失評価2015

    • 著者名/発表者名
      清藤将人, 武田正行, 中津原克己, 野毛悟, 水本哲弥
    • 学会等名
      電子情報通信学会 光エレクトロニクス研究会
    • 発表場所
      青森
    • 年月日
      2015-08-27
    • 関連する報告書
      2015 実施状況報告書
  • [学会発表] 非対称MZI型シリコン導波路を用いたCe:YIG on Si の特性評価2015

    • 著者名/発表者名
      清藤将人, 武田正行, 野毛悟, 水本哲弥, 中津原克己
    • 学会等名
      電子情報通信学会 光エレクトロニクス研究会
    • 発表場所
      熱海
    • 年月日
      2015-04-23
    • 関連する報告書
      2015 実施状況報告書
  • [学会発表] 非対称MZI型シリコン導波路を用いたCe:YIG on Siの特性評価2015

    • 著者名/発表者名
      清藤将人 武田正行 野毛悟 水本哲弥 中津原克己
    • 学会等名
      電子情報通信学会 光エレクトロニクス研究会
    • 発表場所
      熱海
    • 年月日
      2015-04-23
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] コンタクトエピタキシャル法によるCexY(3-x)Fe5O12の膜の方位制御2014

    • 著者名/発表者名
      野毛悟
    • 学会等名
      電子情報通信学会 電子部品・材料研究会
    • 発表場所
      山形大学
    • 年月日
      2014-09-04
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [備考] 中津原研究室ホームページ

    • URL

      http://www.ele.kanagawa-it.ac.jp/~naka2/

    • 関連する報告書
      2016 実績報告書

URL: 

公開日: 2014-04-04   更新日: 2018-03-22  

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