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シリコンウェハ加工技術を用いた300GHz帯高利得高効率広帯域平面アンテナの研究

研究課題

研究課題/領域番号 26630171
研究種目

挑戦的萌芽研究

配分区分基金
研究分野 通信・ネットワーク工学
研究機関東京工業大学

研究代表者

廣川 二郎  東京工業大学, 理工学研究科, 教授 (00228826)

研究分担者 永妻 忠夫  大阪大学, 基礎工学研究科, 教授 (00452417)
連携研究者 安藤 真  東京工業大学, 大学院理工学研究科, 教授 (90159533)
張 ビョウ  東京工業大学, 大学院理工学研究科, 産学官連携研究員 (90535866)
研究期間 (年度) 2014-04-01 – 2016-03-31
研究課題ステータス 完了 (2015年度)
配分額 *注記
4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円)
2015年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
2014年度: 2,210千円 (直接経費: 1,700千円、間接経費: 510千円)
キーワードアンテナ / サブミリ波
研究成果の概要

300GHz帯積層薄板2層構造中空導波管並列給電16x16スロットアレーアンテナを,製作精度が約数μmであるシリコン加工技術により設計,製作した。設計周波数350GHzで一様励振設計した。直径4インチ,厚さ0.2mmのシリコンウエハ5枚を用いて試作する手法を確立した。利得3dB低下比帯域が約10%(帯域幅35GHz)を実験により得た。
また,2つのアンテナを向き合わせた近接無線通信を検討し,位相変調を施すことで,アンテナ間の距離が0~10mmの範囲において,定在波の影響を受けない安定した通信を,理論とともに実証した。

報告書

(3件)
  • 2015 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2014 実施状況報告書
  • 研究成果

    (7件)

すべて 2016 2015 2014

すべて 学会発表 (7件) (うち国際学会 4件、 招待講演 1件)

  • [学会発表] Present and Future of THz Communications2016

    • 著者名/発表者名
      T. Nagatsuma
    • 学会等名
      Swedish Microwave Days, GigaHertz Symposium
    • 発表場所
      Konsert and Kongress, Linkoping, スウェーデン
    • 年月日
      2016-03-16
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Close-Proximity Terahertz Communications Using Phase Modulation and Array Antennas2015

    • 著者名/発表者名
      K. Oogimoto, Y. Inubushi, J. Hirokawa, and T. Nagatsuma
    • 学会等名
      International Symposium on Frontiers in THz Technology
    • 発表場所
      Congress Center in ACT CITY, 浜松市
    • 年月日
      2015-08-31
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Plate-laminated Waveguides for 350GHz Band Fabricated by Silicon Process2015

    • 著者名/発表者名
      J. Hirokawa, S. Suetsugu, K. Oogimoto, T. Nagatsuma, H. Seto, Y. Inoue, and M. Saito
    • 学会等名
      Vietnam-Japan MicroWave
    • 発表場所
      Univ. of Science - Vietnam Natl. Univ., Ho Chi Minh,ベトナム
    • 年月日
      2015-08-10
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Fabrication of Plate-laminated Waveguide for 350GHz Band by Silicon Process2015

    • 著者名/発表者名
      J. Hirokawa, S. Suetsugu, Y. Minamikata, T. Nagatsuma, H. Seto, Y. Inoue, and M. Saito
    • 学会等名
      URSI Atlantic Radio Science Conf.
    • 発表場所
      ExpoMeloneras Conv. Centre, Gran Canaria,スペイン
    • 年月日
      2015-05-17
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 平面アレーアンテナを用いたテラヘルツ帯近接無線通信における伝送品質の改善2015

    • 著者名/発表者名
      扇本一輝, 南方佑介, 広川二郎, 桑野 茂, 寺田 純, 枚田明彦, 永妻忠夫
    • 学会等名
      電子情報通信学会総合大会
    • 発表場所
      立命館大学(草津市)
    • 年月日
      2015-03-11
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] Ultra-high Speed Terahertz Communications Empowered by Photonics2014

    • 著者名/発表者名
      Tadao Nagatsuma
    • 学会等名
      2014 Benjamin Franklin Symposium on Microwave and Antenna Sub-systems
    • 発表場所
      Philadelphian, USA
    • 年月日
      2014-09-27
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] シリコンプロセスを用いた350GHz帯積層薄板接合導波路アンテナの試作2014

    • 著者名/発表者名
      広川二郎,戸村崇,南方佑介,永妻忠夫,瀬戸弘之,井上良幸,加藤邦男
    • 学会等名
      電子情報通信学会通信ソサイアティ大会
    • 発表場所
      徳島大学(徳島市)
    • 年月日
      2014-09-24
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書

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公開日: 2014-04-04   更新日: 2017-05-10  

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