• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 前のページに戻る

マスクレス真空蒸着による高分子表面への微細金属パターン形成

研究課題

研究課題/領域番号 26630349
研究種目

挑戦的萌芽研究

配分区分基金
研究分野 構造・機能材料
研究機関大阪教育大学

研究代表者

辻岡 強  大阪教育大学, 教育学部, 教授 (30346225)

研究期間 (年度) 2014-04-01 – 2016-03-31
研究課題ステータス 完了 (2015年度)
配分額 *注記
3,770千円 (直接経費: 2,900千円、間接経費: 870千円)
2015年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2014年度: 2,730千円 (直接経費: 2,100千円、間接経費: 630千円)
キーワード高分子 / 金属蒸着 / 表面ガラス転移点 / 溶媒 / 金属蒸着選択性 / 真空蒸着 / 表面 / 金属パターニング / ガラス転移点 / 有機溶媒
研究成果の概要

高分子膜表面への金属膜形成は、基礎研究から産業面で幅広く行われており、主に真空蒸着時にマスクを用いる手法が使用されている。ただし微細なパターン形成や大面積化が難しかった。本研究では、溶媒蒸発法とマスクレス蒸着を用いた新しい金属パターン作成法を開発した。高分子表面に有機溶媒を塗布すると、溶媒分子は表面を膨潤し蒸発する。この時に表面の高分子鎖間に隙間が出来、分子鎖の運動状態が活発になる。これに金属蒸気を堆積すると、金属原子は活発な分子運動の影響で表面から離脱し、堆積しない。この原理は数種類の高分子半導体材料や金属種に対して確認され、また10ミクロンレベルの微細パターンも可能であることが実証された。

報告書

(3件)
  • 2015 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2014 実施状況報告書
  • 研究成果

    (38件)

すべて 2016 2015 2014 その他

すべて 雑誌論文 (5件) (うち査読あり 5件、 謝辞記載あり 3件) 学会発表 (31件) (うち国際学会 6件、 招待講演 4件) 備考 (2件)

  • [雑誌論文] Selective Metal-vapor Deposition on Organic Surfaces2015

    • 著者名/発表者名
      T. Tsujioka
    • 雑誌名

      The Chemical Record

      巻: 16 号: 1 ページ: 231-248

    • DOI

      10.1002/tcr.201500235

    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Selective metal-vapor deposition on solvent evaporated polymer surfaces2015

    • 著者名/発表者名
      K. Yamaguchi, T. Tsujioka
    • 雑誌名

      Thin Solid Films

      巻: 597 ページ: 220-225

    • DOI

      10.1016/j.tsf.2015.11.062

    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] In-plane Electrical Bistability of Photochromic Diarylethene/Cu Composite Film2015

    • 著者名/発表者名
      T. Tsujioka, M. Nobunaga, M. Dohi
    • 雑誌名

      Organic Electronics

      巻: 26 ページ: 144-150

    • DOI

      10.1016/j.orgel.2015.07.039

    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Carrier mobility of photochromic diarylethene amorphous films2014

    • 著者名/発表者名
      Naoya Matsui, Tsuyoshi Tsujioka
    • 雑誌名

      Org. Electr.

      巻: 15 号: 10 ページ: 2264-2269

    • DOI

      10.1016/j.orgel.2014.06.032

    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Noble metal deposition modulation on amorphous photochromic diarylethene film2014

    • 著者名/発表者名
      Tsuyoshi Tsujioka, Megumi Dohi
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Express

      巻: 7 号: 7 ページ: 71602-71602

    • DOI

      10.7567/apex.7.071602

    • NAID

      210000137159

    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] Selective metal vapor deposition on photochromic diarylethene surface -dependence on metal species-2016

    • 著者名/発表者名
      Saki Matsumoto、Tsuyoshi Tsujioka
    • 学会等名
      日本化学会第96春季年会
    • 発表場所
      同志社大学京田辺キャンパス(京都)
    • 年月日
      2016-03-24
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] Mg-vapor deposition modulation on photochromic diarylethene crystal surface2016

    • 著者名/発表者名
      Kazuki Yamamoto, Ying Lin, Kingo Uchida, Tsuyoshi Tsujioka
    • 学会等名
      日本化学会第96春季年会
    • 発表場所
      同志社大学京田辺キャンパス(京都)
    • 年月日
      2016-03-24
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] ジアリールエテン上における金属蒸着選択性の金属種依存性2016

    • 著者名/発表者名
      松本彩希、辻岡強
    • 学会等名
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学(東京)
    • 年月日
      2016-03-19
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] 低Tg高分子表面からの金属原子離脱現象を利用した希少金属の集積蒸着2016

    • 著者名/発表者名
      王陸、辻岡強
    • 学会等名
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学(東京)
    • 年月日
      2016-03-19
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] ジアリールエテンのキャリア注入異性化の素過程の研究2016

    • 著者名/発表者名
      山本一樹、辻岡強
    • 学会等名
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学(東京)
    • 年月日
      2016-03-19
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] フォトクロミック膜における金属蒸着選択性の一般モデル2015

    • 著者名/発表者名
      松本彩希、辻岡強
    • 学会等名
      応用物理学会関西支部平成27年度第2回講演会
    • 発表場所
      大阪大学中之島センター(大阪)
    • 年月日
      2015-09-30
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] ジアリールエテン結晶表面におけるMg蒸着変調特性2015

    • 著者名/発表者名
      山本一樹、林頴、内田欣吾、辻岡強
    • 学会等名
      第76回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      名古屋国際会議場(愛知)
    • 年月日
      2015-09-13
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] フォトクロミック・ジアリールエテン表面におけるInの蒸着特異性2015

    • 著者名/発表者名
      松本彩希、辻岡強
    • 学会等名
      第76回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      名古屋国際会議場(愛知)
    • 年月日
      2015-09-13
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] ジアリールエテン結晶表面におけるMg蒸着性変調現象の原因解明2015

    • 著者名/発表者名
      山本一樹、林頴、内田欣吾、辻岡強
    • 学会等名
      光化学討論会
    • 発表場所
      大阪市立大学(大阪)
    • 年月日
      2015-09-09
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] アモルファス・ジアリールエテン表面におけるInの蒸着特性2015

    • 著者名/発表者名
      松本彩希、辻岡強
    • 学会等名
      光化学討論会
    • 発表場所
      大阪市立大学(大阪)
    • 年月日
      2015-09-09
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] ジアリールエテン膜への静電的キャリア注入による異性化反応2015

    • 著者名/発表者名
      山本一樹、辻岡強
    • 学会等名
      光化学討論会
    • 発表場所
      大阪市立大学(大阪)
    • 年月日
      2015-09-09
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] ジアリールエテン針状結晶の電流・電圧特性2015

    • 著者名/発表者名
      宮田勝登志、辻岡強
    • 学会等名
      光化学討論会
    • 発表場所
      大阪市立大学(大阪)
    • 年月日
      2015-09-09
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] Isomerization of Diarylethene Molecules via an Ionic State by Electrostatic Carrier Injection2015

    • 著者名/発表者名
      Kazuki Yamamoto, Tsuyoshi Tsujioka
    • 学会等名
      The 7th East Asia Symposium on Functional Dyes and Advanced Materials
    • 発表場所
      Osaka
    • 年月日
      2015-09-02
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Indium-Vapor Deposition Modulation on an Amorphous Photochromic Diarylethene Surface2015

    • 著者名/発表者名
      Saki Matsumoto, Tsuyoshi Tsujioka
    • 学会等名
      The 7th East Asia Symposium on Functional Dyes and Advanced Materials
    • 発表場所
      Osaka
    • 年月日
      2015-09-02
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Isomerization Structure of Diarylethene Film induced by Electrical Carrier Injection2015

    • 著者名/発表者名
      Kazuki Yamamoto, Tsuyoshi Tsujioka
    • 学会等名
      The 7th East Asia Symposium on Functional Dyes and Advanced Materials
    • 発表場所
      Osaka
    • 年月日
      2015-09-02
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Selective Metal Deposition on Photochromic Surfaces2015

    • 著者名/発表者名
      Tsuyoshi Tsujioka
    • 学会等名
      The 7th East Asia Symposium on Functional Dyes and Advanced Materials
    • 発表場所
      Osaka
    • 年月日
      2015-09-02
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Novel Metal Patterning Method using Vacuum Evaporation on Organic Surfaces for Electronics/Photonics Applications2015

    • 著者名/発表者名
      Tsuyoshi Tsujioka
    • 学会等名
      Collaborative Conference on 3D & Materials Reseach
    • 発表場所
      Busan, Korea
    • 年月日
      2015-06-15
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Selective Metal Deposition on Organic Surfaces for Organic Electronics/Photonics2015

    • 著者名/発表者名
      Tsuyoshi Tsujioka
    • 学会等名
      EMN-EAST meeting (Energy, Materials, and Nanotechnology)
    • 発表場所
      Beijing, China
    • 年月日
      2015-04-20
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書 2014 実施状況報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] ジアリールエテン膜のキャリア注入異性化反応を用いたメモリ素子の動作原理2015

    • 著者名/発表者名
      山本一樹、辻岡強
    • 学会等名
      第62回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      神奈川、東海大学
    • 年月日
      2015-03-13
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] ジアリールエテン/銅複合膜における電流双安定性2015

    • 著者名/発表者名
      信長賢輝、土肥愛実、辻岡強
    • 学会等名
      第62回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      神奈川、東海大学
    • 年月日
      2015-03-13
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] 溶媒離脱効果に起因する高分子半導体膜表面での金属体積性変調2015

    • 著者名/発表者名
      山口耕司、辻岡強
    • 学会等名
      第62回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      神奈川、東海大学
    • 年月日
      2015-03-13
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] ジアリールエテン膜へのキャリア注入異性化の素過程の研究2015

    • 著者名/発表者名
      辻岡強、山本一樹
    • 学会等名
      科学研究費新学術術領域:高次複合光応答分子システムの開拓と学理の構築平成26年度第2回公開シンポジウム
    • 発表場所
      大阪、千里ライフサイエンスセンター
    • 年月日
      2015-01-24
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] ジアリールエテン結晶表面におけるMg蒸着変調2014

    • 著者名/発表者名
      山本一樹、林頴、辻岡 強
    • 学会等名
      光化学討論会
    • 発表場所
      札幌、北海道大学
    • 年月日
      2014-10-12
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] フォトクロミック・ジアリールエテン/銅ナノ粒子複合膜によるプラナー型有機メモリ2014

    • 著者名/発表者名
      信長 賢輝、土肥 愛実、辻岡 強
    • 学会等名
      光化学討論会
    • 発表場所
      札幌、北海道大学
    • 年月日
      2014-10-12
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] ジアリールエテン膜への電流注入による異性化反応メカニズムの解明2014

    • 著者名/発表者名
      山本一樹、辻岡強
    • 学会等名
      光化学討論会
    • 発表場所
      札幌、北海道大学
    • 年月日
      2014-10-11
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] Metal Patterning on Semiconductor Polymer Surface based on Selective Metal Deposition using Solvent Evaporation2014

    • 著者名/発表者名
      Koji Yamaguchi, Tsuyoshi Tsujioka
    • 学会等名
      KJF International Conference on Organic Materials for Electronics and Photonics
    • 発表場所
      Tsukuba
    • 年月日
      2014-09-23
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] Isomerization induced by current injection into a photochromic diarylethene film2014

    • 著者名/発表者名
      Kazuki Yamamoto, Tsuyoshi Tsujioka
    • 学会等名
      KJF International Conference on Organic Materials for Electronics and Photonics
    • 発表場所
      Tsukuba
    • 年月日
      2014-09-23
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] フォトクロミック・ジアリールエテン膜のキャリア注入異性化反応メカニズムの解明2014

    • 著者名/発表者名
      山本一樹、辻岡強
    • 学会等名
      応用物理学会関西支部講演会
    • 発表場所
      京都大学
    • 年月日
      2014-06-26
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] ジアリールエテン/銅粒子複合膜によるプラナー型有機メモリの評価2014

    • 著者名/発表者名
      信長賢輝、土肥愛実、辻岡強
    • 学会等名
      応用物理学会関西支部講演会
    • 発表場所
      京都大学
    • 年月日
      2014-06-26
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] Isomerization induced by electrical carrier injection into a photochromic diarylethene film2014

    • 著者名/発表者名
      Kazuki Yamamoto, Tsuyoshi Tsujioka
    • 学会等名
      8th International Symposium on Organic Molecular Electronics
    • 発表場所
      東京農工大
    • 年月日
      2014-05-15
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] フォトクロミック反応に基づく金属蒸着選択性と応用2014

    • 著者名/発表者名
      辻岡強
    • 学会等名
      近畿化学協会機能性色素部会
    • 発表場所
      大阪科学技術センター
    • 年月日
      2014-05-13
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
    • 招待講演
  • [備考] 大阪教育大学分子ナノ光学研究室

    • URL

      http://www.osaka-kyoiku.ac.jp/~tsujioka/nanooptics.htm

    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [備考] 分子ナノ光学研究室(辻岡研究室)HP

    • URL

      http://www.osaka-kyoiku.ac.jp/~tsujioka/nanooptics.htm

    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書

URL: 

公開日: 2014-04-04   更新日: 2017-05-10  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi