| 研究課題/領域番号 |
26630360
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
材料加工・組織制御工学
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| 研究機関 | 東京工業大学 |
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研究代表者 |
大竹 尚登 東京工業大学, 理工学研究科, 教授 (40213756)
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| 研究協力者 |
赤坂 大樹
稗田 純子
今野 敬士
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| 研究期間 (年度) |
2014-04-01 – 2016-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2015年度)
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| 配分額 *注記 |
3,900千円 (直接経費: 3,000千円、間接経費: 900千円)
2015年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2014年度: 2,600千円 (直接経費: 2,000千円、間接経費: 600千円)
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| キーワード | 材料加工・処理 / 構造・機能材料 / プラズマ加工 / 機械材料・材料力学 / 機械工作・生産工学 |
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| 研究成果の概要 |
イオンを用た次世代の三次元創成技術の開発を目指した．アーク放電により高密度のプラズマを生成し，イオンのみを抽出し，さらに静電レンズを用いてイオンビームを収束できる堆積装置を開発して，Si基板上に炭素の堆積を試みた．有限差分法により静電レンズ付近の電場を算出し，荷電粒子の軌跡を予測した．そのシミュレーション結果を基に静電レンズを設計・製作して堆積装置内に設置し，イオンビーム(面積1100mm2)の収束実験を行った．その結果コイル電流0.1 Aの時，イオンビームを166 mm2まで収束させて硬質炭素膜を堆積させることに成功し，高密度イオンを用いた三次元創成が可能であることを示唆した．
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