溶融半導体中パルス放電の生成と結晶成長への応用

• 研究課題/領域番号: 26630368
• 研究種目: 挑戦的萌芽研究
• 配分区分: 基金
• 研究分野: 材料加工・組織制御工学
• 研究機関: 九州大学
• 研究代表者: 堤井 君元 九州大学, 総合理工学研究科(研究院), 准教授 (10335995)
• 連携研究者: 加藤 喜峰 九州大学, 大学院工学研究院, 准教授 (60380573)
• 研究期間 (年度): 2014-04-01 – 2016-03-31
• 研究課題ステータス: 完了 (2015年度)
• 配分額: 3,900千円 (直接経費: 3,000千円、間接経費: 900千円); 2015年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円); 2014年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円)
• キーワード: パルスパワー / 半導体 / 結晶成長 / 材料加工・処理 / プラズマ加工 / 金属生産工学

研究成果の概要

電気エネルギーの効率的利用と高性能電子機器の開発には、高品質半導体を用いたパワー半導体デバイスの開発が必要である。本研究は、溶融半導体物質中において、パルス電力を印加することによって放電を生成し、その電気特性の評価を行った。またパルス放電を利用して半導体結晶の成長を行った。その結果、高密度パルス放電を効率的に生成するプロセス条件を見出し、高密度パルス放電を利用することで、半導体結晶成長に成功した。