| 研究課題/領域番号 |
26630371
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
材料加工・組織制御工学
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| 研究機関 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構 |
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研究代表者 |
渡邊 誠 国立研究開発法人物質・材料研究機構, 構造材料研究拠点, グループリーダー (00391219)
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| 研究期間 (年度) |
2014-04-01 – 2017-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2016年度)
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| 配分額 *注記 |
3,900千円 (直接経費: 3,000千円、間接経費: 900千円)
2016年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2015年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2014年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
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| キーワード | プラズマCVD / 薄膜 / 成膜プロセス / 大気プラズマCVD / プラズマＣＶＤ |
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| 研究成果の概要 |
本研究では、大気中での非平衡プラズマCVDによる機能性酸化物薄膜プロセスのさらなる発展を目的とし、そのための基礎的な検討を行った。具体的には、異なる形状のプラズマヘッドの利用によるガス流の流れや速度を変化させ、その薄膜特性への影響を調査した。また、プラズマガスとしてアルゴンを用いることによる薄膜プロセスへの影響について検討した。また、ガス流の速度について、より高速化を可能とするために複雑な形状を有する金属ノズル作成のための基礎的な検討を行った。それぞれの要素について検討し、プロセスへの影響および薄膜特性への影響について新たな知見を得ることが出来た。
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