| 研究課題/領域番号 |
26630376
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
金属・資源生産工学
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| 研究機関 | 東京大学 |
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研究代表者 |
吉川 健 東京大学, 生産技術研究所, 准教授 (90435933)
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| 研究期間 (年度) |
2014-04-01 – 2016-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2015年度)
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| 配分額 *注記 |
3,770千円 (直接経費: 2,900千円、間接経費: 870千円)
2015年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
2014年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円)
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| キーワード | 窒化アルミニウム / 溶液成長 / 直接観察 / 溶解度 / 界面観察 |
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| 研究成果の概要 |
本研究では、Cr系溶媒を用いたAlN結晶の溶液成長の研究を行った。第一に、Cr系溶液の窒素並びにAlN溶解度の測定を行い、従来の溶液系に比べてCr-Ni系溶液が高いAlN溶解度を有することを示した。第二に、Cr-Ni系溶液を用いたAlNの溶液成長挙動を調査した。Cr-44mol%Ni、Cr-30mol%Ni合金溶媒に用いて溶液成長を実施し、AlNコートC面サファイアを種結晶に用いた際に最高速の300ミクロン/hでの成長を達成した。さらにサファイア基板を通したAlNの成長挙動の直接観察用装置を製作し、1600℃にてサファイア上でのAlNのアイランド生成と成長の観察に成功した。
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