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立体物への機能薄膜作製技術に向けたライデンフロスト効果の基礎解析

研究課題

研究課題/領域番号 26630395
研究種目

挑戦的萌芽研究

配分区分基金
研究分野 化工物性・移動操作・単位操作
研究機関高知工科大学

研究代表者

川原村 敏幸  高知工科大学, 公私立大学の部局等, 准教授 (00512021)

研究期間 (年度) 2014-04-01 – 2016-03-31
研究課題ステータス 完了 (2015年度)
配分額 *注記
4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円)
2015年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2014年度: 3,120千円 (直接経費: 2,400千円、間接経費: 720千円)
キーワードミスト液滴 / ライデンフロスト効果 / 定常状態 / 瞬間撮影 / ライデンフロスト / 微小液滴挙動 / 液滴の挙動
研究成果の概要

申請者が開発しているミストCVDは、最近の研究でライデンフロスト状液滴による「超マイグレーション」により基板全面に亘り均質かつ原子レベルで高品質な機能薄膜の作製が出来る技術である事がわかってきた。この技術を応用し「立体物」表面に対し均質かつ高品質に薄膜を作製する技術の開発を行うため、ライデンフロスト状態にある数μm径の液滴の挙動解析を行う事が本研究の目的である。
微小液滴(大きさ:数μm、速度:数m/s)は大気圧下で不安定で熱等の外乱により容易に動いてしまうため、単純に観測が困難である。そこで特殊な装置を試作し測定系を構築した。この装置を用いて数m/sで移動する微小液滴の挙動の撮影に成功した。

報告書

(3件)
  • 2015 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2014 実施状況報告書
  • 研究成果

    (20件)

すべて 2016 2015 2014 その他

すべて 雑誌論文 (1件) (うち査読あり 1件) 学会発表 (12件) 備考 (4件) 産業財産権 (3件)

  • [雑誌論文] Physics on development of open-air atmospheric pressure thin film fabrication technique using mist droplets: Control of precursor flow2014

    • 著者名/発表者名
      Toshiyuki Kawaharamura
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 53 号: 5S1 ページ: 05FF08-05FF08

    • DOI

      10.7567/jjap.53.05ff08

    • NAID

      210000143837

    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] 狭差二平板間における微小液滴の挙動②2016

    • 著者名/発表者名
      松崎俊介, 太田垣知輝, 高木耕平, 川原村敏幸
    • 学会等名
      日本機械学会 2016年度 年次大会
    • 発表場所
      九州大学 伊都キャンパス, 福岡市, 福岡
    • 年月日
      2016-09-11
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] 狭差二平板間における微小液滴の挙動①2016

    • 著者名/発表者名
      松崎俊介, 太田垣知輝, 高木耕平, 川原村敏幸
    • 学会等名
      日本機械学会 中国四国支部第54期総会・講演会
    • 発表場所
      愛媛大学工学部, 松山市, 愛媛
    • 年月日
      2016-03-09
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] 大気圧下における高品質薄膜作製のための高度制御技術2016

    • 著者名/発表者名
      川原村 敏幸
    • 学会等名
      エネルギー・環境新技術先導プログラム「高品質/高均質薄膜を実現する非真空成膜プロセスの研究開発」シンポジウム ~ミストデポジション法の科学と応用~
    • 発表場所
      京都リサーチパーク, 京都市, 京都
    • 年月日
      2016-01-18
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] Physics on development of open-air atmospheric pressure thin film fabrication technique using mist droplets: Control of precursor flow2015

    • 著者名/発表者名
      川原村 敏幸
    • 学会等名
      第76回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      名古屋国際会議場
    • 年月日
      2015-09-15
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] ミストアニールによる二硫化モリブデン(MoS2)層状膜作製への挑戦2015

    • 著者名/発表者名
      佐藤 翔太, 川原村 敏幸, 古田 守
    • 学会等名
      第62回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東海大学湘南キャンパス
    • 年月日
      2015-03-14
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] ミストCVDによって作製したコランダム型酸化インジウム(α-In2O3)の特性評価2015

    • 著者名/発表者名
      須和 祐太, 川原村 敏幸, 小島 一信, 秩父 重英
    • 学会等名
      第62回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東海大学湘南キャンパス
    • 年月日
      2015-03-13
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] 反応支援型ミストCVD法により低温成長した酸化アルミニウム(AlOx)薄膜のパッシベーション応用特性2015

    • 著者名/発表者名
      内田 貴之, 川原村 敏幸, 藤田 静雄, 平松 孝浩, 織田 容征
    • 学会等名
      第62回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東海大学湘南キャンパス
    • 年月日
      2015-03-12
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] A Multiple Quantum Well Fe2O3/Ga2O3 Fabricated Under Atmospheric Pressure by Mist Chemical Vapor Deposition Based on Leidenfrost Effect2014

    • 著者名/発表者名
      Toshiyuki Kawaharamura, Giang T. Dang, Noriko Nitta
    • 学会等名
      2014 MRS Fall Meeting & Exhibit
    • 発表場所
      Hynes Convention Center, Boston, Massachusetts, USA
    • 年月日
      2014-12-01
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] ミストCVD法による酸化ガリウムバッファ層を用いたコランダム型In2O3薄膜の作製2014

    • 著者名/発表者名
      須和祐太, 川原村敏幸
    • 学会等名
      第75回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      北海道大学札幌キャンパス
    • 年月日
      2014-09-19
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] 大気開放下によるSnO薄膜の作製とその物性評価2014

    • 著者名/発表者名
      内田貴之, 川原村敏幸, 藤田静雄
    • 学会等名
      第75回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      北海道大学札幌キャンパス
    • 年月日
      2014-09-19
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] ライデンフロスト効果を利用したミストCVDによるFe2O3/Ga2O3多重量子井戸の作製2014

    • 著者名/発表者名
      川原村 敏幸, 鄧 太 江, 新田 紀子
    • 学会等名
      第75回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      北海道大学札幌キャンパス
    • 年月日
      2014-09-17
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] ミストCVD法によるコランダム型In2O3薄膜の作製2014

    • 著者名/発表者名
      須和祐太, 川原村敏幸
    • 学会等名
      平成26年度日本材料科学会四国支部総会及び第23回講演大会
    • 発表場所
      高知工科大学香美キャンパス
    • 年月日
      2014-06-14
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [備考]

    • URL

      http://www.nano.kochi-tech.ac.jp/tosiyuki/index.html

    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [備考] 川原村敏幸のHP

    • URL

      http://www.nano.kochi-tech.ac.jp/tosiyuki/index.html

    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [備考] 統合量子素子研究室 Lab for unified quantum devices

    • URL

      http://www.lab.kochi-tech.ac.jp/quantum/top.html

    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [備考] 高知工科大学 システム工学群 トップ

    • URL

      http://www.sceng.kochi-tech.ac.jp/

    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [産業財産権] 膜厚算出方法、成膜装置およびプログラム2015

    • 発明者名
      川原村敏幸、織田真也、人羅俊実
    • 権利者名
      高知工科大学、(株)FLOSPHIA
    • 産業財産権種類
      特許
    • 出願年月日
      2015-02-06
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [産業財産権] 量子井戸構造および半導体装置2014

    • 発明者名
      川原村敏幸、鄧太江(ダン,タイ ジャン)、織田真也、人羅俊実
    • 権利者名
      高知工科大学、(株)FLOSPHIA
    • 産業財産権種類
      特許
    • 出願年月日
      2014-08-29
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [産業財産権] エピタキシャル成長方法および成長装置ならびに量子井戸構造の作製方法2014

    • 発明者名
      川原村敏幸、鄧太江(ダン,タイ ジャン)、織田真也、人羅俊実
    • 権利者名
      高知工科大学、(株)FLOSPHIA
    • 産業財産権種類
      特許
    • 出願年月日
      2014-08-29
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書

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公開日: 2014-04-04   更新日: 2017-05-10  

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