| 研究課題/領域番号 |
26706027
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| 研究種目 |
若手研究(A)
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| 配分区分 | 一部基金 |
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| 研究分野 |
量子ビーム科学
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| 研究機関 | 大阪大学 |
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研究代表者 |
山本 洋揮 大阪大学, 産業科学研究所, 助教 (00516958)
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| 研究協力者 |
Belloni J. , Prof.
Robinson A. P. G. , Prof.
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| 研究期間 (年度) |
2014-04-01 – 2017-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2016年度)
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| 配分額 *注記 |
24,310千円 (直接経費: 18,700千円、間接経費: 5,610千円)
2016年度: 4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円)
2015年度: 4,550千円 (直接経費: 3,500千円、間接経費: 1,050千円)
2014年度: 15,730千円 (直接経費: 12,100千円、間接経費: 3,630千円)
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| キーワード | 量子ビーム / 極端紫外光リソグラフィ / 電子線リソグラフィ / 半導体微細化 / リソグラフィ / ナノ材料 / 半導体超微細化 / 放射線 / 材料加工・処理 |
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| 研究成果の概要 |
固体有機中に多量の金属がある場合の反応を解明し、量子ビームから付与されるエネルギーを100%利用できる反応系を探索した。ポリスチレン（PS）やポリメタクリレート(PMMA)中に金属ナノ前駆対を含んだ膜に、電子線を照射することによって、有機・無機ハイブリッドのパターン形成に対する高分子の選択や線量や加熱といった合成プロセスの最適化を透過型電子顕微鏡や吸収分光法によって行い、ポリマー薄膜中での銀ナノ粒子および金ナノ粒子の形成機構を明らかにした。また、多量の金属イオンがある場合のレジストを試作し、電子線描画装置を使って有機・無機ハイブリッドナノ粒子の微細パターンの形成を行い、成功した。
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