• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 前のページに戻る

レーザ表面加熱を用いた超高速ロールナノ転写

研究課題

研究課題/領域番号 26709004
研究種目

若手研究(A)

配分区分一部基金
研究分野 生産工学・加工学
研究機関東京大学

研究代表者

長藤 圭介  東京大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 (50546231)

研究期間 (年度) 2014-04-01 – 2016-03-31
研究課題ステータス 完了 (2015年度)
配分額 *注記
24,440千円 (直接経費: 18,800千円、間接経費: 5,640千円)
2015年度: 10,920千円 (直接経費: 8,400千円、間接経費: 2,520千円)
2014年度: 13,520千円 (直接経費: 10,400千円、間接経費: 3,120千円)
キーワード超精密金型転写 / 高速組立成型 / マイクロ・ナノデバイス / トライボロジ― / ナノ材料
研究成果の概要

本研究の目的は,ナノ構造型表面をレーザで直接加熱することを利用して超高速でロール連続熱転写する技術を開発することである.幅100mmの金型が設置可能なロール成形装置を設計・製作し,ガラスロール越しに100Wのレーザを集光照射,アクリル系光学樹脂表面にサブミクロン~10ミクロンのパターンを転写することに成功した.レーザの加熱・冷却現象を有限要素法を用いて解析し,パワー密度が高く,照射時間が短いほど転写速度が早いことがわかった.また,反射防止構造,光取出し構造を実際に成形し,光学特性を調査した.

報告書

(3件)
  • 2015 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2014 実績報告書
  • 研究成果

    (24件)

すべて 2016 2015 2014

すべて 雑誌論文 (5件) (うち査読あり 5件、 謝辞記載あり 5件、 オープンアクセス 1件) 学会発表 (19件) (うち国際学会 10件、 招待講演 3件)

  • [雑誌論文] Real-time measurement of replication degree in thermal roller nanoimprinting2016

    • 著者名/発表者名
      Kenta Hishiki, Keisuke Nagato, Ken Takahashi, T. Hamaguchi, M. Nakao
    • 雑誌名

      Microelectronic Engineering

      巻: 153 ページ: 117-120

    • DOI

      10.1016/j.mee.2016.03.053

    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] High-Speed Replication of Light-Extraction Structure with Thermal roller Nanoimprinting2015

    • 著者名/発表者名
      K. Takahashi, K. Nagato, T. Hamaguchi, M. Nakao
    • 雑誌名

      Microelectron. Eng.

      巻: 印刷中 ページ: 285-288

    • DOI

      10.1016/j.mee.2015.03.069

    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Fabrication of through-hole membrane with anodic-alumina nanohole array2015

    • 著者名/発表者名
      L. Wang, K. Nagato, S. Iwasaki, T. Hamaguchi, M. Nakao
    • 雑誌名

      Microelectron. Eng.

      巻: 141 ページ: 62-67

    • DOI

      10.1016/j.mee.2015.01.037

    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Injection compression molding of replica molds for nanoimprint lithography2014

    • 著者名/発表者名
      K. Nagato
    • 雑誌名

      Polymers

      巻: 6 号: 3 ページ: 604-612

    • DOI

      10.3390/polym6030604

    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Laser-assisted replication of large-area nanostructures2014

    • 著者名/発表者名
      K. Nagato, K. Takahashi, T. Sato, J. Choi, T. Hamaguchi, M. Nakao
    • 雑誌名

      J. Mater. Proc. Technol.

      巻: 214 号: 11 ページ: 2444-2449

    • DOI

      10.1016/j.jmatprotec.2014.05.025

    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [学会発表] Replication of Nanostructures on Polyethylene Terephthalate with Laser-Assisted Roller Nanoimprinting2016

    • 著者名/発表者名
      Y. Yajima, K. Nagato, M. Nakao
    • 学会等名
      The 60th international conference on electron, ion, and photon beam technology and nanofabrication (EIPBN)
    • 発表場所
      Pittsburgh, USA
    • 年月日
      2016-06-02
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Laser-Assisted Replication of Microstructured Film2016

    • 著者名/発表者名
      K. Nagato
    • 学会等名
      EMN Meeting on Polymer
    • 発表場所
      Hong Kong, China
    • 年月日
      2016-01-14
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Laser-Assisted Imprinting of Microstructured Polymer Films2015

    • 著者名/発表者名
      K. Nagato
    • 学会等名
      World Expo on Materials Science & Polymer Engineering
    • 発表場所
      Dubai, UAE
    • 年月日
      2015-11-28
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Effect of Pressing Pressure on Filling Ratio of Microstructures by Laser-Assisted Imprinting2015

    • 著者名/発表者名
      Y. Yajima, K. Nagato, K. Takahashi, T. Hamaguchi, M. Nakao
    • 学会等名
      Micro Nano Engineering (MNE)
    • 発表場所
      Hague, Holland
    • 年月日
      2015-09-23
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Real-Time measurement of replication degree in thermal roller nanoimprinting2015

    • 著者名/発表者名
      K. Hishiki, K. Nagato, K. Takahashi, T. Hamaguchi, M. Nakao
    • 学会等名
      Micro Nano Engineering (MNE)
    • 発表場所
      Hague, Holland
    • 年月日
      2015-09-23
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Momentary Local Laser Heating in Thermal Roll-to-Plate Nanoimprinting; Node Decoupling with Axiomatic Design2015

    • 著者名/発表者名
      M. Nakao, K. Takahashi, K. Nagato, K. Iino
    • 学会等名
      9th International Conference on Axiomatic Design (ICAD2015)
    • 発表場所
      Florence, Italy
    • 年月日
      2015-09-18
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Replication of antireflection structure for solar cells by laser-assisted imprinting2015

    • 著者名/発表者名
      K. Nagato, Y. Yajima, K. Takahashi, T. Hamaguchi, M. Nakao
    • 学会等名
      Asian Symposium on Materials and Processing (ASMP)
    • 発表場所
      Lombok, Indonesia
    • 年月日
      2015-08-11
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Replication of large-area nanostructures for optical devices2015

    • 著者名/発表者名
      Keisuke Nagato
    • 学会等名
      EMN Cancun Meeting (Energy Materials Nanotechnology)
    • 発表場所
      Cancun, Mexico
    • 年月日
      2015-06-10
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Damascene of metallic wires on imprinted flexible substrate2015

    • 著者名/発表者名
      J. Wang, K. Nagato, K. Takahashi, T. Hamaguchi, M. Nakao
    • 学会等名
      The 59th international conference on electron, ion, and photon beam technology and nanofabrication (EIPBN)
    • 発表場所
      San Diego, USA
    • 年月日
      2015-05-27
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Injection-Compression Molding of Nanostructures for Three-Dimensional Cell-Culturing2015

    • 著者名/発表者名
      K. Nagato, M. Oike, Y. Kimura, T. Kakinuma, M. Nakao
    • 学会等名
      The 59th international conference on electron, ion, and photon beam technology and nanofabrication (EIPBN)
    • 発表場所
      San Diego, USA
    • 年月日
      2015-05-27
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] ロール熱ナノインプリントにおける成形状態のリアルタイム測定―第2報:回折格子形状の成形2015

    • 著者名/発表者名
      日紫喜賢太,長藤圭介,高橋賢,濱口哲也,中尾政之
    • 学会等名
      精密工学会春季大会
    • 発表場所
      東洋大学、東京都
    • 年月日
      2015-03-18
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] Laser-Assisted Replication of Large-Area Nanostructures and Antireflection Structure2014

    • 著者名/発表者名
      K. Nagato, K. Takahashi, M. Nakao
    • 学会等名
      Asian Workshop on Polymer Processing (AWPP)
    • 発表場所
      Kenting, Taiwan
    • 年月日
      2014-11-18
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] レーザアシストロールナノインプリントを用いた光取出しフィルムの製造2014

    • 著者名/発表者名
      長藤圭介,高橋賢,中尾政之
    • 学会等名
      日本機械学会第10回生産加工・工作機械部門講演会
    • 発表場所
      徳島大学、徳島県
    • 年月日
      2014-11-15
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] Thermal Roller Nanoimprinting -Multilayered Structures, Laser-Assisted Replication-2014

    • 著者名/発表者名
      K. Nagato, K. Takahashi, M. Nakao
    • 学会等名
      14th International Conference on Nanoimprint and Nanoprint Technology (NNT)
    • 発表場所
      Kyoto, Japan (ANA Crown Praza Kyoto)
    • 年月日
      2014-10-23
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] High-Speed Replication of Light-Extraction Structure with Thermal Roller Nanoimprinting2014

    • 著者名/発表者名
      K. Takahashi, K. Nagato, T. Hamaguchi, M. Nakao
    • 学会等名
      40th Micro and Nano Engineering MNE
    • 発表場所
      Lausanne, Switzerland
    • 年月日
      2014-09-23
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] レーザアシストロールナノインプリントを用いた反射防止構造の製作2014

    • 著者名/発表者名
      長藤圭介,高橋賢,中尾政之
    • 学会等名
      精密工学会秋季大会学術講演会
    • 発表場所
      鳥取大学、鳥取県
    • 年月日
      2014-09-16
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] Real-Time Observation of Paste during Mico-Via Filling in Screen Printing2014

    • 著者名/発表者名
      K. Nagato, K. Mitamura, S. Shinagawa, and M. Nakao
    • 学会等名
      The 5th International Conference on Nanomanufacturing (nanoMan2014)
    • 発表場所
      Bremen, Germany
    • 年月日
      2014-07-08
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] High-Speed and Low-Energy-Consumption Replication of Nanostructures with Laser-Assisted Roller Nanoimprinting2014

    • 著者名/発表者名
      K. Takahashi, K Nagato, J. Wang, T. Hamaguchi, and M. Nakao
    • 学会等名
      58th international conference on electron, ion, and photon beam technology and nanofabrication (EIPBN)
    • 発表場所
      Washington DC, USA
    • 年月日
      2014-05-30
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] Morphology Control of Anodic Porous Alumina Using Nanoimprinting2014

    • 著者名/発表者名
      S. Iwasaki, K. Nagato, L. Wang, Y. Li, J.-J. Delaunay, and M. Nakao
    • 学会等名
      58th international conference on electron, ion, and photon beam technology and nanofabrication (EIPBN)
    • 発表場所
      Washington DC, USA
    • 年月日
      2014-05-28
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書

URL: 

公開日: 2014-04-04   更新日: 2017-05-10  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi