III-V CMOSフォトニクスによる光電子融合集積回路基盤技術の構築

• 研究課題/領域番号: 26709022
• 研究種目: 若手研究(A)
• 配分区分: 一部基金
• 研究分野: 電子デバイス・電子機器
• 研究機関: 東京大学
• 研究代表者: 竹中 充 東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 准教授 (20451792)
• 研究期間 (年度): 2014-04-01 – 2018-03-31
• 研究課題ステータス: 完了 (2017年度)
• 配分額: 23,920千円 (直接経費: 18,400千円、間接経費: 5,520千円); 2017年度: 5,850千円 (直接経費: 4,500千円、間接経費: 1,350千円); 2016年度: 5,850千円 (直接経費: 4,500千円、間接経費: 1,350千円); 2015年度: 5,850千円 (直接経費: 4,500千円、間接経費: 1,350千円); 2014年度: 6,370千円 (直接経費: 4,900千円、間接経費: 1,470千円)
• キーワード: 光変調器 / トランジスタ / シリコンフォトニクス / CMOSフォトニクス / ウェハボンディング / 光電子融合集積回路 / 光デバイス / 化合物半導体

研究成果の概要

本研究を通じて、III-V CMOSフォトニクス・プラットフォーム上に能動・受動素子を自在に集積するためのプロセス技術を確立することに成功した。これによりキャリア注入型光変調器等をIII-V-OI基板上で実証することに成功した。またInGaAs MOSトランジスタの一体集積にも世界で初めて成功するなど、光電子集積回路の基盤技術を確立した。また自由キャリア効果を使った光変調器の研究過程で、ハイブリッドMOS型光変調器構造を考案し、世界最高レベルの光位相変調効率を実現するに至った。III-V on SiCプラットフォームの考案にも繋がるなど、当初の想定以上の成果が得られた。

研究成果

• [雑誌論文] InGaAsP Mach-Zehnder interferometer optical modulator monolithically integrated with InGaAs driver MOSFET on a III-V CMOS photonics platform (2018)
  • 著者名/発表者名: J.-K. Park, S. Takagi, and M. Takenaka
  • 雑誌名: Optics Express 巻: 26 号: 4 ページ: 4842-4852
  • DOI: 10.1364/oe.26.004842
  • 査読あり / オープンアクセス
• [雑誌論文] InP-based photonic integrated circuit platform on SiC wafer (2017)
  • 著者名/発表者名: M. Takenaka and S. Takagi
  • 雑誌名: Optics Express 巻: 25 号: 24 ページ: 29993-30000
  • DOI: 10.1364/oe.25.029993
  • 査読あり / オープンアクセス
• [雑誌論文] Efficient low-loss InGaAsP/Si hybrid MOS optical modulator (2017)
  • 著者名/発表者名: J.-H. Han, F. Boeuf, J. Fujikata, S. Takahashi, S. Takagi, and M. Takenaka
  • 雑誌名: Nature Photonics 巻: 11 号: 8 ページ: 486-490
  • DOI: 10.1038/nphoton.2017.122
  • 査読あり
• [雑誌論文] Benchmarking Si, SiGe and III-V/Si hybrid SIS Optical Modulators for Datacenter Applications (2017)
  • 著者名/発表者名: F. Boeuf, J.-H. Han, S. Takagi, and M. Takenaka
  • 雑誌名: J. Light. Technol. 巻: 35 号: 18 ページ: 4047-4055
  • DOI: 10.1109/jlt.2017.2728365
  • 査読あり
• [雑誌論文] Numerical analysis of carrier-depletion InGaAsP optical modulator with lateral PN junction formed on III-V-on-insulator wafer (2017)
  • 著者名/発表者名: N. Sekine, J.-H. Jan, S. Takagi, and M. Takenaka
  • 雑誌名: Jpn. J. Appl. Phys. 巻: 56 号: 4S ページ: 04CH09-04CH09
  • DOI: 10.7567/jjap.56.04ch09
  • NAID: 210000147623
  • 査読あり
• [雑誌論文] Heterogeneous CMOS Photonics Based on SiGe/Ge and III-V Semiconductors Integrated on Si Platform (2017)
  • 著者名/発表者名: Mitsuru Takenaka,Younghyun Kim, Jaehoon Han, Jian Kang, Yuki Ikku, Yongpeng Cheng, Jinkwon Park, Misa Yoshida, Seiya Takashima, Shinich Takagi
  • 雑誌名: IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics 巻: 23 号: 3 ページ: 8200713-8200713
  • DOI: 10.1109/jstqe.2017.2660884
  • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
• [雑誌論文] Challenges and opportunities of near and mid-infrared photonics based on SiGe and Ge (2016)
  • 著者名/発表者名: M. Takenaka, Y. Kim, J. Han, J. Kang, and S. Takagi
  • 雑誌名: ECS Trans. 巻: 75 号: 8 ページ: 447-459
  • DOI: 10.1149/07508.0447ecst
  • 謝辞記載あり
• [雑誌論文] InGaAsP variable optical attenuator with lateral P-I-N junction formed by Ni-InGaAsP and Zn diffusion on III-V on insulator wafer (2016)
  • 著者名/発表者名: J.-K. Park, J. Han, M. Takenaka, and S. Takagi
  • 雑誌名: MRS Advances 巻: 48 号: 48 ページ: 3295-3300
  • DOI: 10.1557/adv.2016.339
  • 査読あり / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] Low resistivity lateral P-I-N junction formed by Ni-InGaAsP alloy for carrier injection InGaAsP photonic devices (2016)
  • 著者名/発表者名: Jin-Kwon Park, Mitsuru Takenaka and Shinichi Takagi
  • 雑誌名: Japanese Journal of Applied Physics 巻: 55 号: 4S ページ: 04EH04-04EH04
  • DOI: 10.7567/jjap.55.04eh04
  • 査読あり / 国際共著 / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] Low-dark-current waveguide InGaAs metal-semiconductor-metal photodetector monolithically integrated with InP grating coupler on III–V CMOS photonics platform (2016)
  • 著者名/発表者名: Y. Cheng, Y. Ikku, M. Takenaka, and S. Takagi
  • 雑誌名: Jpn. J. Appl. Phys. 巻: 55 号: 4S ページ: 04EH01-04EH01
  • DOI: 10.7567/jjap.55.04eh01
  • NAID: 210000146348
  • 査読あり / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] Effect of III-V on insulator structure on quantum well intermixing (2016)
  • 著者名/発表者名: S. Takashima, Y. Ikku, M. Takenaka, and S. Takagi
  • 雑誌名: Jpn. J. Appl. Phys. 巻: 55 号: 4S ページ: 04EH13-04EH13
  • DOI: 10.7567/jjap.55.04eh13
  • NAID: 210000146360
  • 査読あり / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] Surface leakage reduction in MSM InGaAs photodetector on III-V CMOS photonics platform (2015)
  • 著者名/発表者名: Y. Cheng, Y. Ikku, M. Takenaka, and S. Takagi,
  • 雑誌名: IEEE Photonics Technology Letters 巻: 27 号: 14 ページ: 120-125
  • DOI: 10.1109/lpt.2015.2432052
  • 査読あり / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] InGaAs MSM photodetector monolithically integrated with InP photonic-wire waveguide on III-V CMOS photonics platform (2014)
  • 著者名/発表者名: Y. Cheng, Y. Ikku, M. Takenaka, and S. Takagi
  • 雑誌名: IEICE Electronics Express 巻: 11 号: 16 ページ: 20140609-20140609
  • DOI: 10.1587/elex.11.20140609
  • NAID: 130004678211
  • ISSN: 1349-2543
  • 査読あり / オープンアクセス / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] Direct wafer bonding technology for large-scale InGaAs-on-insulator transistors (2014)
  • 著者名/発表者名: S.H. Kim., Y. Ikku, M. Yokoyama, R. Nakane, J. Li, Y.-C. Kao, M. Takenaka, and S. Takagi
  • 雑誌名: Appl. Phys. Lett 巻: 105 号: 4 ページ: 043504-043504
  • DOI: 10.1063/1.4891493
  • 査読あり / 謝辞記載あり
• [学会発表] High-efficiency, low-loss optical phase modulator based on III-V/Si hybrid MOS capacitor (2018)
  • 著者名/発表者名: M. Takenaka, J.-H. Han, J.-K. Park, F. Boeuf, J. Fujikata, S. Takahashi, and S. Takagi
  • 学会等名: Optical Fiber Communication Conference
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] Low-crosstalk, low-power Mach-Zehnder interferometer optical switch based on III-V/Si hybrid MOS phase shifter (2018)
  • 著者名/発表者名: Q. Li, J.-H. Han, C. Ho, S. Takagi, and M. Takenaka
  • 学会等名: Optical Fiber Communication Conference
  • 国際学会
• [学会発表] フォトニクス応用に向けたIII-V on SiCプラットフォームの検討 (2018)
  • 著者名/発表者名: 三條 嵩明, 関根 尚希, 高木 信一, 竹中 充
  • 学会等名: 第65回応用物理学会春季学術講演会
• [学会発表] Efficient low-loss InGaAsP/Si hybrid MOS optical modulator (2018)
  • 著者名/発表者名: 韓 在勲, Boeuf Frederic, 藤方 潤一, 高橋 重樹, 高木 信一, 竹中 充
  • 学会等名: 第65回応用物理学会春季学術講演会
  • 招待講演
• [学会発表] Demonstration of Mach-Zehnder interferometer optical switch with InGaAsP/Si hybrid MOS optical phase shifter (2018)
  • 著者名/発表者名: Q. Li, S. Takagi, M. Takenaka
  • 学会等名: 第65回応用物理学会春季学術講演会
• [学会発表] Design Optimization of Ultralow Capacitance InGaAs Waveguide Photodetector on III-V CMOS photonics platform (2018)
  • 著者名/発表者名: P. Cheng, S. Takagi, M. Takenaka
  • 学会等名: 第65回応用物理学会春季学術講演会
• [学会発表] Monolithic integration of InGaAsP MZI modulator and InGaAs driver MOSFET using III-V CMOS photonics (2017)
  • 著者名/発表者名: J. Park, S. Takagi, and M. Takenaka
  • 学会等名: Optical Fiber Communication Conference
  • 発表場所: Los Angeles Convention Center, Los Angeles, USA
  • 年月日: 2017-03-20
  • 国際学会
• [学会発表] High-Efficiency O-Band Mach-Zehnder modulator based on InGaAsP/Si hybrid MOS capacitor (2017)
  • 著者名/発表者名: J. Han, S. Takagi, and M. Takenaka
  • 学会等名: Optical Fiber Communication Conference
  • 発表場所: Los Angeles Convention Center, Los Angeles, USA
  • 年月日: 2017-03-20
  • 国際学会
• [学会発表] 貼り合わせ法を用いた高性能InGaAsP/Si hybrid MOS型光変調器 (2017)
  • 著者名/発表者名: 韓 在勲, 高木 信一, 竹中 充
  • 学会等名: 第64回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: パシフィコ横浜（神奈川県横浜市）
  • 年月日: 2017-03-14
  • 招待講演
• [学会発表] Numerical investigation of ultralow-capacitance InGaAs photodetector on III-V/a-Si hybrid platform (2017)
  • 著者名/発表者名: P. Cheng, S. Takagi, and M. Takenaka
  • 学会等名: 7th International Symposium on Photonics and Electronics Convergence
  • 国際学会
• [学会発表] III-V/Si hybrid MOS optical phase shifter toward low-crosstalk switching (2017)
  • 著者名/発表者名: Q. Li, S. Takagi, and M. Takenaka
  • 学会等名: 7th International Symposium on Photonics and Electronics Convergence
  • 国際学会
• [学会発表] High-efficiency phase modulation based on Si hybrid MOS structure (2017)
  • 著者名/発表者名: M. Takenaka and S. Takagi
  • 学会等名: Progress In Electromagnetics Research Symposium
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] Low-crosstalk optical switch with InGaAsP/Si hybrid MOS optical phase shifter (2017)
  • 著者名/発表者名: Q. Li, S. Takagi, and M. Takenaka
  • 学会等名: International Conference on Solid State Devices and Materials
  • 国際学会
• [学会発表] Performance benchmarking of InGaAsP, Si0.8Ge0.2 and Si-based photonics homojunction and heterojunction PN modulators (2017)
  • 著者名/発表者名: F. Boeuf, N. Sekine, S. Takagi, and M. Takenaka
  • 学会等名: International Conference on Solid State Devices and Materials
  • 国際学会
• [学会発表] Electronic-photonic integrated circuits based on heterogeneous integration of Ge/III-V on Si (2017)
  • 著者名/発表者名: M. Takenaka
  • 学会等名: Silicon Photonic Workshop, European Conference on Optical Communication
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] Investigation on Mg ion implantation for carrier-depletion InGaAsP optical modulator with vertical PN junction (2017)
  • 著者名/発表者名: N. Sekine, J.-H. Han, S. Takagi, and M. Takenaka
  • 学会等名: 24th Congress of the international Commission for Optics
  • 国際学会
• [学会発表] Structure optimization of InGaAsP/Si hybrid MOS optical modulator for high-efficiency phase modulation (2017)
  • 著者名/発表者名: Q. Li, J.-H. Han, F. Boeuf, S. Takagi, and M. Takenaka
  • 学会等名: 24th Congress of the international Commission for Optics
  • 国際学会
• [学会発表] Si photonics based on heterogeneous integration (2017)
  • 著者名/発表者名: M. Takenaka
  • 学会等名: Tsinghua University-the University of Tokyo Joint Symposium
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] III-V/SiハイブリッドMOS構造を用いた高効率光位相変調およびユニバーサル光集積回路への展開 (2017)
  • 著者名/発表者名: 竹中 充
  • 学会等名: 第27回シリコンフォトニクス研究会
  • 招待講演
• [学会発表] 異種半導体集積Siフォトニクスを用いた高効率光変調器への展開 (2017)
  • 著者名/発表者名: 竹中 充, 高木 信一
  • 学会等名: 電子情報通信学会ソサイエティ大会
  • 招待講演
• [学会発表] III-V CMOSフォトニクス・プラットフォーム上L字接合をもつキャリア空乏型InGaAsP光変調器の検討 (2017)
  • 著者名/発表者名: 関根 尚希, 高木 信一, 竹中 充
  • 学会等名: 第78回応用物理学会秋季学術講演会
• [学会発表] Optimization of modulation efficiency of InGaAsP/Si hybrid MOS optical modulator (2017)
  • 著者名/発表者名: Q. Li, S. Takagi, and M. Takenaka
  • 学会等名: 第78回応用物理学会秋季学術講演会
• [学会発表] Extremely high modulation efficiency III-V/Si hybrid MOS optical modulator fabricated by direct wafer bonding (2016)
  • 著者名/発表者名: J. Han, M. Takenaka, and S. Takagi
  • 学会等名: International Electron Devices Meeting
  • 発表場所: Hilton San Francisco Union Square, San Francisco, USA
  • 年月日: 2016-12-05
  • 国際学会
• [学会発表] Estimation of modulation efficiency enhancement using an InGaAsP/Si hybrid MOS optical modulator (2016)
  • 著者名/発表者名: J.-H. Han, S. Takagi, and M. Takenaka
  • 学会等名: 6th International Symposium on Photonics and Electronics Convergence
  • 発表場所: Eneos Hall, The University of Tokyo, Meguro-ku, Komaba, Tokyo
  • 年月日: 2016-11-28
  • 国際学会
• [学会発表] Numerical analysis of InGaAsP carrier-depletion optical modulator on III-V CMOS photonics platform (2016)
  • 著者名/発表者名: N. Sekine, J. Han, M. Takenaka, and S. Takagi
  • 学会等名: International Conference on Solid State Devices and Materials
  • 発表場所: Tsukuba International Congress Center, Tsukuba, Ibaragi
  • 年月日: 2016-09-26
  • 国際学会
• [学会発表] Heterogeneous integration of SiGe/Ge and III-Vs on Si for electronic-photonic integrated circuit (2016)
  • 著者名/発表者名: M. Takenaka, and S. Takagi
  • 学会等名: JSPS-OSA joing session
  • 発表場所: Toki Messe, Niigata, Niigata
  • 年月日: 2016-09-16
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] III-V CMOSフォトニクス・プラットフォーム上キャリア注入型InGaAsP可変光減衰器 (2016)
  • 著者名/発表者名: 朴 珍權, 韓 在勲, 竹中 充, 高木 信一
  • 学会等名: 第77回応用物理学会秋季学術講演会
  • 発表場所: 朱鷺メッセ（新潟県新潟市）
  • 年月日: 2016-09-13
• [学会発表] 貼り合わせInGaAsP/Si ハイブリッド MOS 型光変調器に関する検討 (2016)
  • 著者名/発表者名: 韓 在勲, 竹中 充, 高木 信一
  • 学会等名: 第77回応用物理学会秋季学術講演会
  • 発表場所: 朱鷺メッセ（新潟県新潟市）
  • 年月日: 2016-09-13
• [学会発表] Feasibility study of III-V/Si hybrid MOS optical modulators consisting of n-InGaAsP/Al2O3/p-Si MOS capacitor formed by wafer bonding (2016)
  • 著者名/発表者名: J. Han, M. Takenaka, and S. Takagi
  • 学会等名: International Conference on Group IV Photonics
  • 発表場所: Grand Kempinski Hotel, Shanghai, China
  • 年月日: 2016-08-23
  • 国際学会
• [学会発表] Heterogeneous integration of SiGe/Ge and III-V on Si for CMOS photonics (2016)
  • 著者名/発表者名: M. Takenaka, and S. Takagi
  • 学会等名: International Meeting for Future of Electron Devices, Kansai
  • 発表場所: Avanti Kyoto Hall, Ryukoku Univeristy, Kyoto
  • 年月日: 2016-06-23
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] Si上異種半導体集積による光電子集積回路技術 (2016)
  • 著者名/発表者名: 竹中 充, 高木 信一
  • 学会等名: プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会第150回研究会
  • 発表場所: 名古屋大学ES総合館ESホール（名古屋市千種区）
  • 年月日: 2016-06-20
  • 招待講演
• [学会発表] Si/III-V CMOS photonics for low-power electronic-photonic integrated circuits on Si platform (2016)
  • 著者名/発表者名: M. Takenaka, and S. Takagi
  • 学会等名: Conference on Lasers and Electro-Optics
  • 発表場所: San Jose Convention Center, San Jose, USA
  • 年月日: 2016-06-05
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] CMOS photonics technologies based on heterogeneous integration of SiGe/Ge and III-V on Si (2016)
  • 著者名/発表者名: M. Takenaka, Y. Kim, J. Han, J. Kang, Y. Ikku, Y. Cheng, J. Park, and S. Takagi
  • 学会等名: SPIE Photonics Europe
  • 発表場所: SQUARE Brussels Meeting Center, Brussels, Belgium
  • 年月日: 2016-04-04
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] Si上異種半導体集積によるCMOSフォトニクス (2016)
  • 著者名/発表者名: 竹中 充, 金 栄現, 韓 在勲, 亢 健, 一宮佑希, 程 勇鵬, 朴 珍權, 金 相賢, 高木信一
  • 学会等名: 電子情報通信学会SDM研究会・応用物理学会シリコンテクノロジー分科会共催研究集会
  • 発表場所: 機会振興会館（東京都港区）
  • 年月日: 2016-01-28
  • 招待講演
• [学会発表] CMOS photonics technologies based on heterogeneous integration of SiGe/Ge and III-V on Si (2015)
  • 著者名/発表者名: M. Takenaka, Y. Kim, J. Han, J. Kang, Y. Ikku, Y. Cheng, J.-K. Park, S.-H Kim, and S. Takagi
  • 学会等名: International Electron Devices Meeting
  • 発表場所: Washington Hilton, Washington D.C, USA
  • 年月日: 2015-12-09
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] Ni-InGaAsP alloy for low-resistivity lateral PIN junction formation in carrier-injected InGaAsP photonic devices (2015)
  • 著者名/発表者名: J.-K. Park, M. Takenaka, and S. Takagi
  • 学会等名: 5th International Symposium on Photonics and Electronics Convergence
  • 発表場所: Ito Hall, The University of Tokyo, Bunkyo-ku, Hongo, Tokyo
  • 年月日: 2015-12-01
  • 国際学会
• [学会発表] Waveguide InGaAs metal-semiconductormetal photodetector monolithically integrated with InP grating coupler on III-V CMOS photonics platform (2015)
  • 著者名/発表者名: Y. Cheng, Y. Ikku, M. Takenka, and S. Takagi
  • 学会等名: International Conference on Solid State Devices and Materials
  • 発表場所: Sapporo Convention Center, Sapporo, Hokkaido
  • 年月日: 2015-09-30
  • 国際学会
• [学会発表] The influence of III-V on insulator structure on quantum well intermixing (2015)
  • 著者名/発表者名: S. Takashima, Y. Ikku, M. Takenka, and S. Takagi
  • 学会等名: International Conference on Solid State Devices and Materials
  • 発表場所: Sapporo Convention Center, Sapporo, Hokkaido
  • 年月日: 2015-09-30
  • 国際学会
• [学会発表] Low-resistivity lateral PIN junction formed by Ni-InGaAsP alloy for carrier-injection InGaAsP photonic devices (2015)
  • 著者名/発表者名: J.-K. Park, M. Takenka, and S. Takagi
  • 学会等名: International Conference on Solid State Devices and Materials
  • 発表場所: Sapporo Convention Center, Sapporo, Hokkaido
  • 年月日: 2015-09-29
  • 国際学会
• [学会発表] III-V on SiC基板を用いた光集積回路プラットフォームの提案 (2015)
  • 著者名/発表者名: 竹中充，高木信一
  • 学会等名: 第76回応用物理学会秋季学術講演会
  • 発表場所: 名古屋国際会議場（愛知県名古屋市熱田区）
  • 年月日: 2015-09-14
• [学会発表] II-V-OI基板のパターニングによるボイド低減の検討 (2015)
  • 著者名/発表者名: 高島 成也, 一宮 佑希, 竹中 充, 高木 信一
  • 学会等名: 第76回応用物理学会秋季学術講演会
  • 発表場所: 名古屋国際会議場（愛知県名古屋市熱田区）
  • 年月日: 2015-09-14
• [学会発表] III-V CMOS photonics on Si for high-performance electronic-photonic integrated circuits (2015)
  • 著者名/発表者名: M. Takenaka and S. Takagi
  • 学会等名: 8th International Conference on Materials for Advanced Technologies
  • 発表場所: Suntech, Singapore
  • 年月日: 2015-07-02
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] III-V-OI基板上における量子井戸インターミキシングの検討 (2015)
  • 著者名/発表者名: 高島 成也、一宮 佑希、竹中 充、高木 信一
  • 学会等名: 第62回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 東海大学湘南キャンパス（神奈川県平塚市）
  • 年月日: 2015-03-12
• [学会発表] III-V-OI 基板の耐熱性向上技術および低抵抗横型PIN 接合形成技術 (2014)
  • 著者名/発表者名: 一宮 佑希, 竹中 充, 高木 信一
  • 学会等名: 電子情報通信学会レーザ・量子エレクトロニクス研究会
  • 発表場所: 機会振興会館（東京都港区）
  • 年月日: 2014-12-19
• [学会発表] InGaAs MSM photodetector with InAlAs and InP cap layers on III-V CMOS photonics platform for low dark current operation (2014)
  • 著者名/発表者名: Y. Cheng, Y. Ikku, M. Takenaka, and S. Takagi
  • 学会等名: 4th International Symposium on Photonics and Electronics Convergence
  • 発表場所: ENEOS hall, The University of Tokyo, Meguro, Tokyo
  • 年月日: 2014-11-18
• [学会発表] Low-crosstalk carrier-injection Mach-Zehnder interferometer optical switches with 50-μm-long phase shifters on III-V CMOS photonics platform (2014)
  • 著者名/発表者名: Y. Ikku, M. Yokoyama, M. Takenaka, and S. Takagi
  • 学会等名: 4th International Symposium on Photonics and Electronics Convergence
  • 発表場所: ENEOS hall, The University of Tokyo, Meguro, Tokyo
  • 年月日: 2014-11-18
• [学会発表] 小型低クロストークInGaAsP細線導波路光スイッチの作製 (2014)
  • 著者名/発表者名: 一宮佑希，横山正史，竹中充，高木信一
  • 学会等名: 第75回応用物理学会秋季学術講演会
  • 発表場所: 北海道大学札幌キャンパス（北海道札幌市）
  • 年月日: 2014-09-18
• [学会発表] ark current reduction of waveguide InGaAs MSM photodetector on III-V CMOS photonics platform by InAlAs cap layer (2014)
  • 著者名/発表者名: Y. Cheng，一宮佑希，竹中充，高木信一
  • 学会等名: 第75回応用物理学会秋季学術講演会
  • 発表場所: 北海道大学札幌キャンパス（北海道札幌市）
  • 年月日: 2014-09-17
• [学会発表] III-V CMOS device technologies on Si platform (2014)
  • 著者名/発表者名: S. Takagi and M. Takenaka
  • 学会等名: E-MRS Fall Meeting
  • 発表場所: Warsaw University of Technology, Warsaw, Poland
  • 年月日: 2014-09-16
  • 招待講演
• [学会発表] Low-resistance lateral junction formation for laser diodes on III-V CMOS photonics platform (2014)
  • 著者名/発表者名: Y. Ikku, and M. Takenaka, and S. Takagi
  • 学会等名: 24th IEEE International Semiconductor Laser Conference
  • 発表場所: Meliá Palas Atenea, Palma de Mallorca, Spain
  • 年月日: 2014-09-08
• [学会発表] III-V CMOS photonics platform for low-power and low-crosstalk photonic-wire switches and modulators (2014)
  • 著者名/発表者名: M. Takenaka, Y. Ikku, and S. Takagi
  • 学会等名: Advanced Photonics for Communications
  • 発表場所: Hilton San Diego, San Dieog, USA
  • 年月日: 2014-07-15
  • 招待講演
• [学会発表] Surface orientation depdendence of electro-optic effects in InGaAsP for lateral pin-junction InGaAsP photonic-wire modulators (2014)
  • 著者名/発表者名: Y. Ikku, M. Takenaka, and S. Takagi
  • 学会等名: Indium Phosphide and Related Materials
  • 発表場所: Le Corum, Montpellier, France
  • 年月日: 2014-05-11 – 2014-05-15
• [学会発表] Waveguide InGaAs photodetector with Schottky barrier enhancement layer on III-V CMOS photonics platform (2014)
  • 著者名/発表者名: Y. Cheng, Y. Ikku, O. Ichikawa, T. Osada, M. Hata, M. Takenaka, and S. Takagi
  • 学会等名: Indium Phosphide and Related Materials
  • 発表場所: Le Corum, Montpellier, France
  • 年月日: 2014-05-11 – 2014-05-15
• [学会発表] Multi-bandgap III-V on insulator wafer fabricated by quantum well intermixing for III-V CMOS photonics platform (2014)
  • 著者名/発表者名: M. Kuramochi, M. Takenaka, Y. Ikku, and S. Takagi
  • 学会等名: Indium Phosphide and Related Materials
  • 発表場所: Le Corum, Montpellier, France
  • 年月日: 2014-05-11 – 2014-05-15
• [備考] 高木・竹中研Webページ
  • URL: http://www.mosfet.k.u-tokyo.ac.jp/
• [備考] 高木竹中研究室研究紹介
  • URL: http://www.mosfet.k.u-tokyo.ac.jp/research/index.html#III-VCMOSphotonics
• [備考] 高木・竹中研究室ホームページ
  • URL: http://www.mosfet.k.u-tokyo.ac.jp/index.html
• [備考] 高木・竹中研究室ホームページ
  • URL: http://www.mosfet.k.u-tokyo.ac.jp/
• [産業財産権] ＭＯＳ型光変調器及びその製造方法 (2016)
  • 発明者名: 竹中充、韓在勲、高木信一
  • 権利者名: 竹中充、韓在勲、高木信一
  • 産業財産権種類: 特許
  • 産業財産権番号: 2016-160229
  • 出願年月日: 2016-08-17