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放射光X線によるヘテロ構造ナノワイヤの格子ひずみ解析と界面特性制御

研究課題

研究課題/領域番号 26790020
研究種目

若手研究(B)

配分区分基金
研究分野 ナノ材料工学
研究機関国立研究開発法人日本原子力研究開発機構

研究代表者

佐々木 拓生  国立研究開発法人日本原子力研究開発機構, 原子力科学研究部門 量子ビーム応用研究センター, 研究員 (90586190)

研究期間 (年度) 2014-04-01 – 2016-03-31
研究課題ステータス 完了 (2015年度)
配分額 *注記
3,900千円 (直接経費: 3,000千円、間接経費: 900千円)
2015年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
2014年度: 2,210千円 (直接経費: 1,700千円、間接経費: 510千円)
キーワード分子線エピタキシー / ナノワイヤ / 放射光X線回折 / その場測定 / インジウムガリウム砒素 / 放射光X線 / III-V族半導体 / X線回折 / コアシェル
研究成果の概要

その場放射光X線回折により、Au触媒InGaAsナノワイヤ(NW)成長におけるIn/Ga供給比の影響を検討した。その結果、In/Ga供給比が大きいほど、NWが下地の二次元層に埋没してしまうことがわかった。この問題を克服するため、成長温度を低くすることで、NWの成長を促進させ、二次元層への埋没を抑制することに成功した。InGaAs-NWのIn組成を調べたところ、In/Gaの供給比よりもIn組成は低くなることがわかった。この原因として、InはGaよりも結晶に取り込まれにくく、Au触媒中に残留しやすい可能性が示唆された。

報告書

(3件)
  • 2015 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2014 実施状況報告書
  • 研究成果

    (11件)

すべて 2016 2015 2014

すべて 雑誌論文 (4件) (うち査読あり 3件、 謝辞記載あり 2件) 学会発表 (7件) (うち国際学会 1件)

  • [雑誌論文] Nitride-MBE system for in situ synchrotron X-ray measurements2016

    • 著者名/発表者名
      Takuo Sasaki, Fumitaro Ishikawa, Tomohiro Yamaguchi, and Masamitu Takahasi
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 55 号: 5S ページ: 05FB05-05FB05

    • DOI

      10.7567/jjap.55.05fb05

    • NAID

      210000146496

    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] In situ X-ray diffraction study on the influence of growth conditions on polytypes in gold-catalyzed GaAs nanowires2016

    • 著者名/発表者名
      Masamitu Takahasi, Miwa Kozu, and Takuo Sasaki
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 55

    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Mechanisms Determining the Structure of Gold-Catalyzed GaAs Nanowires Studied by in Situ X-ray Diffraction2015

    • 著者名/発表者名
      M. Takahasi, M. Kozu, T. Sasaki, W. Hu
    • 雑誌名

      Crystal Growth & Design

      巻: 15 号: 10 ページ: 4979-4985

    • DOI

      10.1021/acs.cgd.5b00915

    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] その場放射光X線回折によるIII-Vエピ成長のひずみ解析2015

    • 著者名/発表者名
      佐々木 拓生、高橋 正光
    • 雑誌名

      日本結晶成長学会誌

      巻: 15 ページ: 210-217

    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] その場放射光X線回折によるMBE成長窒化物半導体のひずみ緩和観測2016

    • 著者名/発表者名
      佐々木 拓生、出来 亮太、石川 史太郎、山口 智広、高橋 正光
    • 学会等名
      第63回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学大岡山キャンパス(東京都目黒区)
    • 年月日
      2016-03-20
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] 窒化物半導体結晶成長の放射光その場X線回折2016

    • 著者名/発表者名
      佐々木 拓生、高橋 正光
    • 学会等名
      第29回日本放射光学会
    • 発表場所
      東京大学柏の葉キャンパス駅前サテライト(千葉県柏市)
    • 年月日
      2016-01-11
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] In situ synchrotron X-ray diffraction during GaN/SiC(0001) heteroepitaxy2015

    • 著者名/発表者名
      Takuo Sasaki, Ryota Deki and Masamitu Takahasi
    • 学会等名
      第6回窒化物半導体結晶成長国際会議(ISGN-6)
    • 発表場所
      アクトシティ浜松(静岡県浜松市)
    • 年月日
      2015-09-14
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] In situ studies of strain evolution iIn molecular beam epitaxial growth of GaN using synchrotron X-ray diffraction2015

    • 著者名/発表者名
      Takuo Sasaki and Masamitu Takahasi
    • 学会等名
      第34回電子材料シンポジウム
    • 発表場所
      ラフォーレ琵琶湖(滋賀県守山市)
    • 年月日
      2015-07-15
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] 窒化物半導体結晶成長の放射光その場X線回折2015

    • 著者名/発表者名
      佐々木 拓生、高橋 正光
    • 学会等名
      第7回窒化物半導体結晶成長講演会
    • 発表場所
      東北大学片平キャンパス(宮城県仙台市)
    • 年月日
      2015-05-08
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] Au触媒GaAsナノワイヤの構造多形メカニズム2015

    • 著者名/発表者名
      佐々木 拓生、出来 亮太、高橋 正光
    • 学会等名
      第62回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東海大学(神奈川県平塚市)
    • 年月日
      2015-03-12
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] X線小角散乱によるナノワイヤ成長中のAu触媒形状観測2014

    • 著者名/発表者名
      佐々木 拓生、出来 亮太、高橋 正光
    • 学会等名
      第75回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      北海道大学(札幌市北区)
    • 年月日
      2014-09-18
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書

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公開日: 2014-04-04   更新日: 2017-05-10  

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