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放射光表面X線回折法を用いた超高温SiC熱分解法によるグラフェン成長のその場観察

研究課題

研究課題/領域番号 26790045
研究種目

若手研究(B)

配分区分基金
研究分野 結晶工学
研究機関関西学院大学

研究代表者

吉田 雅洋  関西学院大学, 理工学研究科, 博士研究員 (80634500)

研究期間 (年度) 2014-04-01 – 2016-03-31
研究課題ステータス 完了 (2015年度)
配分額 *注記
4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円)
2015年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2014年度: 2,730千円 (直接経費: 2,100千円、間接経費: 630千円)
キーワード表面X線回折 / グラフェン / シリコンカーバイド / その場観察 / 放射光X線 / 結晶成長
研究成果の概要

本研究では、SiC熱分解法によるグラフェン成長の成長過程における表面・界面構造を調べるための、放射光表面X線回折を利用したその場観察法を確立した。初めに、SiC及びグラフェンのbragg反射とbuffer層由来の超格子反射のピーク位置を観測し、幾何学的な位置関係にあることを確認した。その場観察用に設計した超高温小型加熱炉と多軸回折計及び二次元検出器PILATUSを組み合わせ、buffer層由来の超格子反射の昇温過程におけるその場観察を行った。その結果得られた温度変化は、現在支持されている成長モデルで説明できると考えられる。この結果から、確立した手法の実用性を実証することができた。

報告書

(3件)
  • 2015 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2014 実施状況報告書
  • 研究成果

    (4件)

すべて 2016 2015 2014

すべて 雑誌論文 (1件) (うち査読あり 1件) 学会発表 (3件) (うち国際学会 1件)

  • [雑誌論文] Development of the compact furnace for the in-situ observation under ultra-high temperature by synchrotron x-ray surface diffraction2016

    • 著者名/発表者名
      M. Yoshida, Y. Kutsuma, D. Dohjima, K. Ohwadad,T.Inami, N. Ohtani, T. Kaneko and J. Mizuki
    • 雑誌名

      Materials Science Forum

      巻: 858 ページ: 505-508

    • DOI

      10.4028/www.scientific.net/msf.858.505

    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] In-situ observation of the SiC surface during thermal decomposition by synchrotron x-ray surface diffraction2015

    • 著者名/発表者名
      Masahiro Yoshida, Yasunori Kutsuma, Daichi Dohjima, Kenji Ohwada, Toshiya Inami, Noboru Ohtani, Tadaaki Kaneko and Jun’ichiro Mizuki
    • 学会等名
      16th Internaitonal Conference of Silicon Carbide and Related Materials
    • 発表場所
      Giardini Naxos, Italy
    • 年月日
      2015-10-04
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 放射光X線回折によるSiC熱分解表面のその場観察法の開発2015

    • 著者名/発表者名
      吉田雅洋, 河邉文哉, 久津間保徳, 堂島大地, 重政英史, 大和田謙二, 稲見俊哉, 玉井尚登, 大谷昇, 金子忠昭, 水木純一郎
    • 学会等名
      第62回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東海大学 (神奈川県)
    • 年月日
      2015-03-11 – 2015-03-14
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書
  • [学会発表] Development of in-situ observation method of the graphene growth by sychrotron x-ray surface diffraction2014

    • 著者名/発表者名
      M.Yoshida, F. Kawabe, Y. Kutsuma, D. Dohjima, H. Shigemasa, K. Ohwada, N. Tamai, N. Ohtani, T. Kaneko and J. Mizuki
    • 学会等名
      European Conference on Silicon Carbide and Related Materials 2014
    • 発表場所
      グルノーブル(フランス)
    • 年月日
      2014-09-21 – 2014-09-25
    • 関連する報告書
      2014 実施状況報告書

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公開日: 2014-04-04   更新日: 2017-05-10  

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