| 研究課題/領域番号 |
26790050
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| 研究種目 |
若手研究(B)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
薄膜・表面界面物性
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| 研究機関 | 高知工科大学 |
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研究代表者 |
野本 淳一 高知工科大学, 公私立大学の部局等, 助教 (30711288)
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| 研究期間 (年度) |
2014-04-01 – 2016-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2015年度)
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| 配分額 *注記 |
3,120千円 (直接経費: 2,400千円、間接経費: 720千円)
2015年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2014年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
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| キーワード | キャリア輸送機構 / 透明導電酸化物 / 酸化亜鉛 / 配向制御 / 透明導電膜 / マグネトロンスパッタリング / イオンプレーティング |
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| 研究成果の概要 |
本研究では、最初にガラス基板上に直流及び高周波マグネトロンスパッタ（MS）法により成膜された Al 添加 ZnO（AZO）透明導電膜における配向性とキャリア輸送との関係を定量化した。直流 MS の特長は、(0001) 配向性を上げることで高キャリア輸送の実現が可能であることを見出した。解決策として、(0001) 優先配向を有した 10 nm の AZO 薄膜を高周波 MS でガラス基板上に作製し、その上に直流 MS で AZO を成膜することで、(0001) 配向以外の配向組織 ((10-11)等) をほぼ無くすことに成功した。その結果、多結晶薄膜におけるキャリア輸送特性の制御が実現となった。
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