| 研究課題/領域番号 |
26820018
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| 研究種目 |
若手研究(B)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
生産工学・加工学
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| 研究機関 | 東北大学 |
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研究代表者 |
伊東 聡 東北大学, 工学(系)研究科(研究院), 助教 (00624818)
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| 研究期間 (年度) |
2014-04-01 – 2016-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2015年度)
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| 配分額 *注記 |
3,900千円 (直接経費: 3,000千円、間接経費: 900千円)
2015年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2014年度: 2,600千円 (直接経費: 2,000千円、間接経費: 600千円)
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| キーワード | 計測工学 / 超精密計測 / 表面・界面物性 / マイクロCMM / 寸法計測 / マイクロスリット / ナノメトロロジー / マイクロプローブ / 寸法測定 / マイクロノズル |
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| 研究成果の概要 |
本研究題目では，測定対象物表面に存在する厚さ10 nm程度の水膜層によってプローブ先端に自律的に形成されるマイクロ液柱に起因する局所的な引力の検出を利用することにより，ナノメートルオーダー分解能かつ非接触状態で計測可能な高感度プローブによるマイクロ寸法計測システムの開発に取り組んだ．ブロックゲージを用いたプローブ先端球有効直径のその場校正法を提案し，環境変化による水膜層厚さの違いによって生じる測定誤差の保証を行った．
また寸法測定システムに存在するアライメント誤差の影響について，幾何学モデルを構築して分析し，不確かさ評価に基づいて測定精度が検証された．
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