自己校正型ロータリエンコーダを利用した絶対形状測定システムの開発

• 研究課題/領域番号: 26820028
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 基金
• 研究分野: 生産工学・加工学
• 研究機関: 国立研究開発法人産業技術総合研究所
• 研究代表者: 近藤 余範 国立研究開発法人産業技術総合研究所, 工学計測標準研究部門, 主任研究員 (10586316)
• 研究期間 (年度): 2014-04-01 – 2016-03-31
• 研究課題ステータス: 完了 (2015年度)
• 配分額: 3,900千円 (直接経費: 3,000千円、間接経費: 900千円); 2015年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円); 2014年度: 2,730千円 (直接経費: 2,100千円、間接経費: 630千円)
• キーワード: ロータリエンコーダ / 自己校正法 / 形状計測 / 平面 / 球目 / 自由曲面 / 球面

研究成果の概要

表面の局部傾斜角度測定に基づく新たな表面形状測定システムの開発に取り組んだ．本提案では，対象表面に照射したレーザビームの反射光を，ミラーの反射を介して，レンズとポジションセンサにより角度検出する．ペンタミラーを走査することで，表面の局部傾斜角に応じて，センサ上のビームスポット位置が変化するが，スポット位置が変化しないようにミラーを回転することが可能なフィードバック制御システムを開発した．ミラーの回転角度を自己校正型ロータリエンコーダによって測定することにより，間接的に表面の局部傾斜角度を測定できる．平面から数m程度までの曲率を持つ表面形状を数nmの絶対精度で測定できることを実証した．

研究成果

• [雑誌論文] High-lateral-resolution scanning deflectometric profiler using a commercially available autocollimator (2014)
  • 著者名/発表者名: 尾藤 洋一， 近藤 余範
  • 雑誌名: MEASUREMENT SCIENCE & TECHNOLOGY 巻: 25 号: 9 ページ: 095202-095202
  • DOI: 10.1088/0957-0233/25/9/095202
  • 査読あり
• [学会発表] λ/100 reference flat for commercially available Fizeau interferometer (2016)
  • 著者名/発表者名: Yohan Kondo, Youichi Bitou and Kazuhide Yamauchi
  • 学会等名: The 8th SPIE International Symposium on Advanced Optical Manufacturing and Testing Technologies (AOMATT2016)
  • 発表場所: 中国（蘇州）
  • 年月日: 2016-04-28
  • 国際学会