| 研究課題/領域番号 |
26820037
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| 研究種目 |
若手研究(B)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
設計工学・機械機能要素・トライボロジー
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| 研究機関 | 地方独立行政法人東京都立産業技術研究センター |
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研究代表者 |
川口 雅弘 地方独立行政法人東京都立産業技術研究センター, 開発本部開発第二部表面・化学技術グループ, 主任研究員 (40463054)
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| 研究期間 (年度) |
2014-04-01 – 2017-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2016年度)
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| 配分額 *注記 |
3,900千円 (直接経費: 3,000千円、間接経費: 900千円)
2016年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2015年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
2014年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
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| キーワード | DLC / 固体NMR / 13C / PBIID |
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| 研究成果の概要 |
本研究では，固体NMRによるDLC膜のsp3定量評価の可能性について検討した．12Cメタン，13Cメタンを用いて同条件で成膜したDLCは，材料的特性，機械的特性ともに概ね同じ膜が形成できることが判明した．また，固体NMRによるsp3評価は，XPS，TEM-EELS評価結果と比較し得ること，および膜の粉末化による膜構造変化の影響は小さいことから，固体NMRはsp3定量評価として十分可能であると考えられる．一方，粉末化による膜の内部応力緩和の影響について，さらに検討する必要がある．また，膜の粉末化処理の簡便化については解決策を見出せなかった．
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