| 研究課題/領域番号 |
26820293
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| 研究種目 |
若手研究(B)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
無機材料・物性
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| 研究機関 | 信州大学 |
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研究代表者 |
我田 元 信州大学, 学術研究院工学系, 助教 (40633722)
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| 研究期間 (年度) |
2014-04-01 – 2016-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2015年度)
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| 配分額 *注記 |
4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円)
2015年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
2014年度: 2,600千円 (直接経費: 2,000千円、間接経費: 600千円)
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| キーワード | 水溶液プロセス / 酸化亜鉛 / 透明導電膜 / 微構造制御 / 結晶配向 / 溶液法 |
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| 研究成果の概要 |
水溶液プロセスとは従来の固相法や気相法と比較し、低温・低コスト・低環境負荷での材料作製が期待される手法である。本研究では，水溶液プロセスの一種であり、新しい成膜技術であるリアクティブスピンコート法を開発し，特に酸化物透明導電膜への応用を目指して、ZnO成膜を試みた。結果として、上記手法によるガラス基板上へのZnO結晶形成に成功した。さらに、これまでよりも精密に膜構造制御可能な添加剤を見出した。
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