| 研究課題/領域番号 |
26820309
|
|---|
| 研究種目 |
若手研究(B)
|
| 配分区分 | 基金 |
|---|
| 研究分野 |
複合材料・表界面工学
|
|---|
| 研究機関 | 地方独立行政法人大阪府立産業技術総合研究所 |
|---|
研究代表者 |
小畠 淳平 地方独立行政法人大阪府立産業技術総合研究所, その他部局等, 研究員 (00566424)
|
|---|
| 研究協力者 |
網谷 健児 東北大学, 金属材料研究所, 准教授
瀧川 順庸 大阪府立大学, 大学院工学研究科, 准教授
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
2014-04-01 – 2017-03-31
|
| 研究課題ステータス |
完了 (2016年度)
|
| 配分額 *注記 |
3,770千円 (直接経費: 2,900千円、間接経費: 870千円)
2016年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2015年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2014年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
|
|---|
| キーワード | 表面処理 / 金属ガラス / スパッタリング / イオンアシスト / 薄膜 / アンバランスドマグネトロンスパッタ / ナノインプリント / アルゴン |
|---|
| 研究成果の概要 |
金属ガラス膜はナノインプリント産業に応用可能な高機能膜として注目されている。本研究では、金属ガラス膜の膜質を制御する新しい手法として、アンバランスドマグネトロン(UBM)スパッタ法のイオンアシスト効果に着目し、イオンアシスト効果がTi-Cu-Zr-Ni-Hf-Si金属ガラス膜の構造および諸特性に与える影響を調査した。実験の結果、プラズマ形成ガスであるArがイオンアシスト効果により膜内に含有されることを見出し、Arの含有により膜の熱特性、機械的特性、熱ナノインプリント成形性が向上することを発見した。これら諸特性の向上は、Ar含有に伴う不均一構造の形成に起因していることを明らかにした。
|
