ナノインプリントグラフォエピタキシーの基礎研究

• 研究課題/領域番号: 26870505
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 基金
• 研究分野: ナノ材料工学; 構造・機能材料
• 研究機関: 兵庫県立大学
• 研究代表者: 岡田 真 兵庫県立大学, 高度産業科学技術研究所, 助教 (60637065)
• 研究期間 (年度): 2014-04-01 – 2017-03-31
• 研究課題ステータス: 完了 (2016年度)
• 配分額: 3,900千円 (直接経費: 3,000千円、間接経費: 900千円); 2016年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円); 2015年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円); 2014年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
• キーワード: ナノインプリント / 分子配向 / ナノインプリントグラフォエピタキシー / 高分子液晶

研究成果の概要

本研究はナノインプリントによって分子配向を誘起させ、かつ微細構造物を作製するプロセスであるナノインプリントグラフォエピタキシーに関する基礎研究を行ったものである。材料として光反応性高分子液晶を用い、ナノインプリントプロセス要因が分子配向に与える影響、材料の初期膜厚の影響、さらには単純なプロセスで特異な分子配向を誘起することが出来るダブルナノインプリントグラフォエピタキシーについて評価した。

研究成果

• [雑誌論文] Depth analysis of molecular orientation induced by nanoimprint graphoepitaxy (2017)
  • 著者名/発表者名: Makoto Okada, Ryosuke Fujii, Yuichi Haruyama, Hiroshi Ono, Nobuhiro Kawatsuki, and Shinji Matsui
  • 雑誌名: Jpn. J. Appl. Phys. 巻: 56 号: 4 ページ: 1-4
  • DOI: 10.7567/jjap.56.040302
  • 査読あり / 謝辞記載あり
• [学会発表] Nanoimprint graphoepitaxy for molecularly oriented nanofabrication (2017)
  • 著者名/発表者名: Makoto Okada, Yuichi Haruyama, Hiroshi Ono, and Nobuhiro Kawatsuki
  • 学会等名: The 34th International Conference of Photopolymer Science and Technology
  • 発表場所: 幕張メッセ(千葉県千葉市)
  • 年月日: 2017-06-27
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] ナノインプリントグラフォエピタキシー分子配向の深さ方向分析 (2017)
  • 著者名/発表者名: 岡田真、藤井 良輔、春山 雄一、小野 浩司、川月 喜弘
  • 学会等名: 2017年第64回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: パシフィコ横浜(神奈川県横浜市)
  • 年月日: 2017-03-15
• [学会発表] Simplified double nanoimprint-graphoepitaxy using L&S and flat pattern molds (2016)
  • 著者名/発表者名: Makoto Okada, Ryosuke Fujii, Yuichi Haruyama, Hiroshi Ono, Nobuhiro Kawatsuki, and Shinji Matsui
  • 学会等名: The 15th International Conference on Nanoimprint and Nanoprint Technology 2016
  • 発表場所: ブラガ(ポルトガル)
  • 年月日: 2016-09-27
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] Examination of depth profile of molecular orientation in L&S pattern fabricated by nanoimprint-graphoepitaxy (2016)
  • 著者名/発表者名: Makoto Okada, Ryosuke Fujii, Yuichi Haruyama, Hiroshi Ono, Nobuhiro Kawatsuki, and Shinji Matsui
  • 学会等名: The 15th International Conference on Nanoimprint and Nanoprint Technology 2016
  • 発表場所: ブラガ(ポルトガル)
  • 年月日: 2016-09-27
  • 国際学会
• [学会発表] Evaluation of molecular orientation induced by simplified double nanoimprint-graphoepitaxy (2016)
  • 著者名/発表者名: Makoto Okada, Ryosuke Fujii, Yuichi Haruyama, Hiroshi Ono, Nobuhiro Kawatsuki, and Shinji Matsui
  • 学会等名: The 42nd International Conference on Micro and Nano Engineering 2016
  • 発表場所: ウィーン(オーストリア)
  • 年月日: 2016-09-21
  • 国際学会
• [学会発表] Depth analysis of molecular orientation induced by nanoimprint-graphoepitaxy (2016)
  • 著者名/発表者名: Makoto Okada, Ryosuke Fujii, Yuichi Haruyama, Hiroshi Ono, Nobuhiro Kawatsuki, and Shinji Matsui
  • 学会等名: The 42nd International Conference on Micro and Nano Engineering 2016
  • 発表場所: ウィーン(オーストリア)
  • 年月日: 2016-09-21
  • 国際学会
• [学会発表] ダブルナノインプリントグラフォエピタキシーによる分子配向現象 (2016)
  • 著者名/発表者名: 岡田 真、谷口 雄亮、春山 雄一、小野 浩司、川月 喜弘、松井 真二
  • 学会等名: 応用物理学会 次世代リソグラフィ技術研究会ワークショップ 2016
  • 発表場所: 東京工業大学 蔵前会館(東京都目黒区)
  • 年月日: 2016-07-07
  • 招待講演
• [学会発表] Molecular orientation evaluation of negative-tone and positive-tone photo-cross-linkable liquid crystalline polymer pattern fabricated by nanoimprint-graphoepitaxy (2016)
  • 著者名/発表者名: Makoto Okada, Yusuke Taniguchi, Yuichi Haruyama, Hiroshi Ono, Nobuhiro Kawatsuki, and Shinji Matsui
  • 学会等名: The 60th International Conference on Electron, Ion and Photon Beam Technology and Nanofabrication 2016
  • 発表場所: ピッツバーグ（アメリカ）
  • 年月日: 2016-06-01
  • 国際学会
• [学会発表] ダブルナノインプリントグラフォエピタキシーによって作製した液晶高分子パターンの分子配向評価 (2016)
  • 著者名/発表者名: 岡田真、谷口 雄亮、春山 雄一、小野 浩司、川月 喜弘、松井真二
  • 学会等名: 2016年第63回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 東京工業大学（東京都目黒区）
  • 年月日: 2016-03-19
• [学会発表] ナノインプリントグラフォエピタキシーによって作製した液晶高分子ネガ型及びポジ型パターンの分子配向観察 (2016)
  • 著者名/発表者名: 岡田真、谷口 雄亮、春山 雄一、小野 浩司、川月 喜弘、松井真二
  • 学会等名: 2016年第63回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 東京工業大学（東京都目黒区）
  • 年月日: 2016-03-19
• [学会発表] Evaluation of Molecular Orientation of Photo-Cross-Linkable Liquid Crystalline Polymer in 200 nm-Line and Space Pattern by Measuring Diffraction Efficiency (2015)
  • 著者名/発表者名: Makoto Okada, Yusuke Taniguchi, Yuichi Haruyama, Hiroshi Ono, Nobuhiro Kawatsuki, and Shinji Matsui
  • 学会等名: 28th International Microprocesses and Nanotechnology Conference 2015
  • 発表場所: 富山国際会議場（富山県富山市）
  • 年月日: 2015-11-13
  • 国際学会
• [学会発表] 'Double nanoimprint-graphoepitaxy for localized liquid crystalline molecular orientation in imprinted pattern (2015)
  • 著者名/発表者名: Makoto Okada, Yusuke Taniguchi, Yuichi Haruyama, Hiroshi Ono, Nobuhiro Kawatsuki, and Shinji Matsui
  • 学会等名: The 14th International Conference on Nanoimprint and Nanoprint Technology 2015
  • 発表場所: Napa, USA
  • 年月日: 2015-10-23
  • 国際学会
• [学会発表] Localized liquid crystalline molecular orientation in line and space pattern fabricated by double nanoimprint-graphoepitaxy (2015)
  • 著者名/発表者名: Makoto Okada, Yusuke Taniguchi, Yuichi Haruyama, Hiroshi Ono, Nobuhiro Kawatsuki, and Shinji Matsui
  • 学会等名: The 41st International Conference on Micro and Nano Engineering 2015
  • 発表場所: The Hague, The Netherlands
  • 年月日: 2015-09-23
  • 国際学会
• [学会発表] ダブルナノインプリントグラフォエピタキシーによる液晶分子の局所配向 (2015)
  • 著者名/発表者名: 岡田真、谷口 雄亮、春山 雄一、小野 浩司、川月 喜弘、松井真二
  • 学会等名: 2015年 第76回 応用物理学会秋季学術講演会
  • 発表場所: 名古屋国際会議場（愛知県名古屋市）
  • 年月日: 2015-09-16
• [学会発表] Temperature dependence of molecular orientation of liquid crystalline polymer induced by nanoimprint-graphoepitaxy (2015)
  • 著者名/発表者名: Makoto Okada, Risa Hosoda, Yusuke Taniguchi, Yuichi Haruyama, Hiroshi Ono, Nobuhiro Kawatsuki, and Shinji Matsui
  • 学会等名: The 59th International Conference on Electron, Ion and Photon Beam Technology and Nanofabrication 2015
  • 発表場所: San Diego, USA
  • 年月日: 2015-05-27
  • 国際学会
• [学会発表] 液晶高分子へのナノインプリントグラフォエピタキシー (2015)
  • 著者名/発表者名: 岡田 真，細田 理沙，谷口 雄亮，春山 雄一，小野 浩司，川月 喜弘，松井 真二
  • 学会等名: 2015年 第62回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 東海大学（神奈川県平塚市）
  • 年月日: 2015-03-11
• [学会発表] Evaluation of molecular orientation in liquid crystalline polymer structure fabricated by nanoimprinting (2014)
  • 著者名/発表者名: Makoto Okada, Risa Hosoda, Mizuho Kondo, Yuichi Haruyama, Tomoyuki Sasaki, Hiroshi Ono, Nobuhiro Kawatsuki, and Shinji Matsui
  • 学会等名: The 13th International Conference on Nanoimprint and Nanoprint Technology 2014
  • 発表場所: ANAクラウンプラザホテル京都（京都府京都市）
  • 年月日: 2014-10-23
• [学会発表] Material dependency of liquid crystalline polymer's molecular orientation by nanoimprint-graphoepitaxy (2014)
  • 著者名/発表者名: Makoto Okada, Risa Hosoda, Mizuho Kondo, Yuichi Haruyama, Tomoyuki Sasaki, Hiroshi Ono, Nobuhiro Kawatsuki, and Shinji Matsui
  • 学会等名: The 40th International Conference on Micro and Nano Engineering 2014
  • 発表場所: Lausanne, Switzerland
  • 年月日: 2014-09-24
• [学会発表] 回折効率測定による光反応性高分子液晶微細パターンの分子配向評価 (2014)
  • 著者名/発表者名: 岡田真，細田理沙，近藤瑞穂，佐々木友之，春山雄一，小野浩司，川月喜弘，松井真二
  • 学会等名: 2014年 第75回 応用物理学会秋季学術講演会
  • 発表場所: 北海道大学（北海道札幌市）
  • 年月日: 2014-09-20
• [学会発表] Molecular orientation of imprinted nm-order pattern of photo-cross-linkable liquid crystalline polymer (2014)
  • 著者名/発表者名: Makoto Okada, Risa Hosoda, Mizuho Kondo, Yuichi Haruyama, Tomoyuki Sasaki, Hiroshi Ono, Nobuhiro Kawatsuki, and Shinji Matsui
  • 学会等名: The 58th International Conference on Electron, Ion and Photon Beam Technology and Nanofabrication 2014
  • 発表場所: Washington DC, USA
  • 年月日: 2014-05-28