| 研究課題/領域番号 |
26870901
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| 研究種目 |
若手研究(B)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
リハビリテーション科学・福祉工学
ナノマイクロシステム
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| 研究機関 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
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研究代表者 |
岩崎 渉 国立研究開発法人産業技術総合研究所, 製造技術研究部門, 研究員 (20712508)
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| 研究期間 (年度) |
2014-04-01 – 2016-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2015年度)
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| 配分額 *注記 |
3,770千円 (直接経費: 2,900千円、間接経費: 870千円)
2015年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2014年度: 2,210千円 (直接経費: 1,700千円、間接経費: 510千円)
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| キーワード | 圧電体 / 振動 / エナジーハーベスト / 圧電デバイス / ScAlN / マイクロ・ナノデバイス |
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| 研究成果の概要 |
本研究では一般的な圧電体材料の一つである窒化アルミニウム（AlN）にスカンジウムを転換することで発電性能を向上させた新規の圧電体であるScAlNの加工方法について検討した。アルカリ性の混酸でウェットエッチング条件を確立した。低周波で振動可能な振動発電デバイスの構造を考慮し、表面にSiO2膜が形成されたSOI基板のデバイス層に設計したパターンのデバイスを作製した。圧電体にはScAlNを、圧電体の下部電極と上部電極にはCr/Au/Crをスパッタリングにより積層した。また、生体の活動で発生する振動を調査するために、人が運動した際の頭部の振動数を評価した。
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