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透過電子顕微鏡を用いた欠陥構造と界面制御による高誘電率BaTiO3薄膜の開発

研究課題

研究課題/領域番号 26889078
研究種目

研究活動スタート支援

配分区分補助金
研究分野 無機材料・物性
研究機関一般財団法人ファインセラミックスセンター

研究代表者

小林 俊介  一般財団法人ファインセラミックスセンター, その他部局等, 研究員 (60714623)

研究期間 (年度) 2014-08-29 – 2016-03-31
研究課題ステータス 完了 (2015年度)
配分額 *注記
2,730千円 (直接経費: 2,100千円、間接経費: 630千円)
2015年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2014年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
キーワードチタン酸バリウム / 薄膜 / 誘電率 / 透過型電子顕微鏡 / 歪み / BaTiO3 / ドメイン / STEM / 走査型透過電子顕微鏡 / 強誘電体 / パルスドレーザー堆積法
研究成果の概要

本研究の対象である強誘電体BaTiO3はコンデンサーを形成する為の主材料である。このコンデンサーの要望として高誘電率かつ高温領域まで使用できる材料開発が望まれている。本研究では、BaTiO3薄膜に着目し、透過型電子顕微鏡を用いて欠陥構造を解析を実施、薄膜中の組成を精緻に制御することで過去に報告されてきたBaTiO3薄膜よりも大きな誘電率(室温では2000、Tc近傍で10,000)を達成した。これらの結果は、高誘電率BaTiO3薄膜を作製する上で重要な研究指針を示す成果であると結論付けられる。

報告書

(3件)
  • 2015 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2014 実績報告書
  • 研究成果

    (8件)

すべて 2016 2015 2014

すべて 雑誌論文 (1件) (うち査読あり 1件、 謝辞記載あり 1件) 学会発表 (7件) (うち招待講演 1件)

  • [雑誌論文] High Electron Mobility of Nb-Doped SrTiO3 Films Stemming from Rod-Type Sr Vacancy Clusters2015

    • 著者名/発表者名
      S. Kobayashi, Y. Mizumukai, T. Ohnishi, N. Shibata, Y. Ikuhara and T. Yamamoto
    • 雑誌名

      ACS Nano

      巻: 9 号: 11 ページ: 10769-10777

    • DOI

      10.1021/acsnano.5b05720

    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [学会発表] 走査型透過電子顕微鏡を用いたBaTiO3薄膜のナノドメイン構造解析2016

    • 著者名/発表者名
      小林 俊介、加藤 丈晴、 幾原 雄一、 山本 剛久
    • 学会等名
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学
    • 年月日
      2016-03-21
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] 斜方晶系GdScO3基板に成膜したBaTiO3薄膜の相転移挙動2015

    • 著者名/発表者名
      小林 俊介、加藤 丈晴、 平山 司、 幾原 雄一、 山本 剛久
    • 学会等名
      2015年秋季 第76回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      名古屋国際会議場
    • 年月日
      2015-09-13
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] 走査型透過電子顕微鏡を用いたBaTiO3薄膜の界面構造解析2015

    • 著者名/発表者名
      小林 俊介、大石 修、加藤 丈晴、 平山 司、 幾原 雄一、 山本 剛久
    • 学会等名
      日本顕微鏡学会 第71回記念学術講演会
    • 発表場所
      国立京都国際会館
    • 年月日
      2015-05-14
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] 走査型透過電子顕微鏡を用いたBaTiO3薄膜の界面構造解析2015

    • 著者名/発表者名
      小林俊介、大石修、加藤丈晴、平山司、幾原雄一、山本剛久
    • 学会等名
      日本顕微鏡学会第71回記念学術講演会
    • 発表場所
      国立京都国際会館(京都)
    • 年月日
      2015-05-14
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] ペロブスカイト酸化物薄膜における欠陥構造制御と物性発現2014

    • 著者名/発表者名
      小林俊介
    • 学会等名
      生研材料学セミナー
    • 発表場所
      東京大学(東京)
    • 年月日
      2014-12-22
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] ペロブスカイト酸化物中の酸素欠損に伴う陽イオン原子変位の可視化2014

    • 著者名/発表者名
      小林俊介, Scott Findlay, 奥西栄治, 幾原雄一, 山本剛久
    • 学会等名
      第75回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      北海道大学(北海道)
    • 年月日
      2014-09-19
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] 高誘電率BaTiO3薄膜の作製と透過型電子顕微鏡による構造解析2014

    • 著者名/発表者名
      小林 俊介, 加藤 丈晴, 平山 司, 幾原 雄一, 山本 剛久
    • 学会等名
      日本セラミックス協会 第27回秋季シンポジウム
    • 発表場所
      鹿児島大学 (鹿児島)
    • 年月日
      2014-09-09
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書

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公開日: 2014-09-09   更新日: 2017-05-10  

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