集積回路の三次元化に関する基礎研究

• 研究課題/領域番号: 56550212
• 研究種目: 一般研究(C)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 電子材料工学
• 研究機関: 東京工業大学
• 研究代表者: 松村 正清 東京工業大学, 工学部, 助教授
• 研究期間 (年度): 1981
• 研究課題ステータス: 完了 (1981年度)
• 配分額: 1,600千円 (直接経費: 1,600千円); 1981年度: 1,600千円 (直接経費: 1,600千円)