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固相拡散・反応を利用した, シリコン単結晶ウエハーと一体構造の超伝導電子素子の製作
研究課題
サマリー
1981年度
基礎情報
研究課題/領域番号
56750194
研究種目
奨励研究(A)
配分区分
補助金
研究分野
電子材料工学
研究機関
東北大学
研究代表者
大矢 銀一郎
東北大学, 電気通信研究所, 助手
研究期間 (年度)
1981
研究課題ステータス
完了 (1981年度)
配分額
*注記
900千円 (直接経費: 900千円)
1981年度: 900千円 (直接経費: 900千円)