化学気相析出法による酸化物薄膜センサーの作製とその評価

• 研究課題/領域番号: 58208009
• 研究種目: 特定研究
• 配分区分: 補助金
• 研究機関: 長岡技術科学大学
• 研究代表者: 鎌田 喜一郎 長岡技術科学大学, 工学部, 助教授
• 研究期間 (年度): 1983
• 研究課題ステータス: 完了 (1983年度)
• 配分額: 1,200千円 (直接経費: 1,200千円); 1983年度: 1,200千円 (直接経費: 1,200千円)