球面収差補正による微細電子線電子流密度分布の改善

• 研究課題/領域番号: 58750303
• 研究種目: 奨励研究(A)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 電子機器工学
• 研究機関: 名古屋大学
• 研究代表者: 花井 孝明 名古屋大学, 工学部, 助手
• 研究期間 (年度): 1983
• 研究課題ステータス: 完了 (1983年度)
• 配分額: 700千円 (直接経費: 700千円); 1983年度: 700千円 (直接経費: 700千円)