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近赤外線検出器アレイの開発

研究課題

研究課題/領域番号 59840001
研究種目

試験研究

配分区分補助金
研究分野 天文学
研究機関名古屋大学

研究代表者

村上 浩  名古屋大学, 理, 助手 (40135299)

研究期間 (年度) 1984 – 1985
研究課題ステータス 完了 (1985年度)
配分額 *注記
4,100千円 (直接経費: 4,100千円)
1985年度: 1,900千円 (直接経費: 1,900千円)
1984年度: 2,200千円 (直接経費: 2,200千円)
キーワード近赤外線 / 検出器 / 一次元アレイ / InSb
研究概要

1単素子の改良
この研究の目的は一次元配列のInSb検出器アレイを開発することであるが、それを構成する個々の素子の特性の改善も重要である。昭和59年度の報告で既に述べたように、浜松ホトニクスに於いて一応実用に耐える素子を製作することが出来たが、リーク電流量の目安となるゼロバイアス時の抵抗値【R_o】Aは良いもので約【10^5】Ωcmであり、米国製のものに比べて約一桁小さかった。この原因としてP-N接合形成プロセス中の加熱時間が長過ぎることがその後の研究でわかり、これを短かくすることで現在は【R_o】A=1.4×【10^5】Ωcmのものが安定して出来るようになった。しかし他のプロセスにも問題がある可能性もあり、現在試験を続けている。
2.8素子の一次元アレイ
昭和60年度には1.と並行して、8素子から構成された一次元アレイを試作した。個々の素子は0.6mm×0.6mmの大きさである。8個のうち5個は、抵抗値【R_o】=3×【10^7】Ω(77Kに冷却時)でほぼそろっており一応目標のものが出来ているが、残りの3素子は全く実用にならない程、リーク電流の多いものであった。その他の試作品についてもほぼ同様の結果で、分留まりが大変悪いことを示している。その後この原因はスパッタ装置に問題があったことがわかり、61年1月に浜松ホトニクスに新しいスパッタ装置が入った時点で新しく試作したところかなりの分留まりの向上がみられ、4月中には8素子すべてが動作するアレイを製作出来る見通しである。

報告書

(1件)
  • 1985 実績報告書

URL: 

公開日: 1987-03-31   更新日: 2016-04-21  

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