研究課題/領域番号 |
59850008
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研究種目 |
試験研究
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配分区分 | 補助金 |
研究分野 |
物理計測・光学
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研究機関 | 東京工業大学 |
研究代表者 |
伊賀 健一 東京工業大学, 精密研, 教授 (10016785)
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研究期間 (年度) |
1984 – 1985
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研究課題ステータス |
完了 (1985年度)
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配分額 *注記 |
10,300千円 (直接経費: 10,300千円)
1985年度: 600千円 (直接経費: 600千円)
1984年度: 9,700千円 (直接経費: 9,700千円)
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キーワード | レンズ / 光回路 / 屈折率分布 / 自然拡散 / 電界移入法 / 開口角 / 収差 / 微小光学 |
研究概要 |
本研究は、屈折率分布を形成するドーパントを平板ガラス基板に選択拡散して製作する平板マイクロレンズの口径範囲の拡大、大受光角・低収差化、屈折率分布形成素過程の解明及び平板マイクロレンズを基調とした積層光回路の実現を目的として行なったもので、以下の研究成果を達成した。 1.平板マイクロレンズの屈折率分布形成素過程を明らかにし、分布制御条件の最適化によるマイクロレンズの性能改善の基礎を確立した。 (1)ガラス基板中での金属イオンの拡散係数に強い濃度依存性のあることを解明し、この特性が大開口角、低収差なレンズの形成に大きく寄与していることを明らかにした。 (2)自然拡散法による平板マイクロレンズの屈折率分布形成過程を理論的に明かにし、直径0.2mm前後の小口径レンズの性能改善の基礎を確立した。 2.電界移入法による平板マイクロレンズの大口径・大開口角化を目的として、新たに横型電界移入法の導入及び新しいガラス基板の電界移入法への適応性について実験的に検討した。 (1)横型電界移入法によるマイクロレンズの作製法を確立して、口径2mmまでのマイクロレンズの生産の見通しが得られた。 (2)屈折率差の大きくとれる平板マイクロレンズ用の新しい基板を用いてレンズの製作を行ない、開口角0.3以上(2枚組で0.54)の低収差のレンズが得られ、また、いくつかの積層光回路を試作した。
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