| 研究課題/領域番号 |
59850063
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| 研究種目 |
試験研究
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
電子機器工学
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| 研究機関 | 名古屋大学 |
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研究代表者 |
後藤 俊夫 名古屋大学, 工, 助教授 (50023255)
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| 研究期間 (年度) |
1984 – 1985
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| 研究課題ステータス |
完了 (1985年度)
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| 配分額 *注記 |
3,100千円 (直接経費: 3,100千円)
1985年度: 1,100千円 (直接経費: 1,100千円)
1984年度: 2,000千円 (直接経費: 2,000千円)
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| キーワード | XeClエキシマレーザ / 自動予備電離方式 / He / Ar希釈 / Ne / 放電励起 / 紫外レーザ |
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| 研究概要 |
本研究では、59年度から60年度にわたって、混合希釈ガスを用いた自動予備電離型放電励起XeClレーザの研究を行い、次の成果を得た。
1. Ar/He希釈ガスを用いたXeCl308nmエキシマレーザの出力特性を詳しく調べ、最大レーザ出力を与える最適ガス圧条件(全ガス圧力、ガス混合比)を求めた。
2. Ar/Heの代りにNe/Ar希釈ガスを用いたXeCl308nmエキシマレーザの出力特性を詳しく調べ、それが、2気圧以下の圧力領域で、Ar/He、Ne、Ar希釈を用いた場合より更に大きなレーザ出力エネルギーを与えることを見い出し、最適ガス圧条件を求めた。
3. 1及び2の研究結果、Ar/He/XeCl及びNe/Ar/XeClレーザは、2気圧以下の低圧力領域で比較的大きなレーザ出力と長い寿命が得られること、従って小型で簡便なレーザ装置として有望であることが明らかになった。
4. スパークギャップとレーザヘッドを一体化した小型で低インダクタンスの自動予備電離型放電励起XeClレーザ装置を考案し.1と2で求めた最適ガス圧条件下で、レーザ出力エネルギー及び効率の回路パラメータ依存性や、予備電離ギャップ構造への依存性を調べ、それらの最適条件を決定した。また最適条件下において、本レーザ装置は安定で比較的長寿命の優れた動作時性を示すことを明らかにした。
5. 上記1〜4の結果をもとにして、最適化した改良型の、小型で安定な混合希釈XeClレーザ装置を設計・試作した。
以上の研究によって当初の計画をほぼ達成し、実用的な混合希釈XeClレーザ装置を試作することができるので、今後はXeClレーザの励起機構の研究及び応用分野の研究を行っていく予定である。
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