| 研究課題/領域番号 |
60229007
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| 研究種目 |
特定研究
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究機関 | 東京大学 |
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研究代表者 |
合志 陽一 東京大学, 工学部, 教授 (90111468)
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| 研究期間 (年度) |
1985
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| 研究課題ステータス |
完了 (1985年度)
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| 配分額 *注記 |
3,000千円 (直接経費: 3,000千円)
1985年度: 3,000千円 (直接経費: 3,000千円)
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| キーワード | シンクロトロン放射 / マイクロビーム / トロイダルミラー / ウオルターミラー / 蛍光X線分析 / 走査型X線顕微鏡 |
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| 研究概要 |
本研究は短期間であったが所期の目的を達したので報告する。
1.設計システム
集光系の設計を円滑にすすめるため、パーソナルコンピュータを端末とする設計システムを完成させた。これによりレイトレーシングを中心とする設計作業が著るしく容易になり、また精度よい最適設計が可能となった。
2.二段集光系の設計
上記システムを用い、ウオルター型の集光系を設計した。設計のエネルギー上限を10KeVとしたシステムを最適化設計した。レイトレーシングの結果によれば、放射光光源を前提とすると、結像特性は非常に良好であった。すなわち、放射光光源を大型のウオルター型タンデム集光鏡で集光し、次に回転双曲面と回転楕円面を組合せた微小焦点集光鏡をシリーズに配置したものである。最終段の縮小倍率は13分の1で最適化できた。
3.結像特性の検討
X線管による超高輝度線源でアルミニウム【K_α】線を用い微小スポットの結像特性を検討したところ、約1μmφとなり、現時点でサブミクロンスポットが実現できた。さらに改良の見通しがついた。
4.レプリカ母材の加工と検査法の確立
母材を正確に加工するための計測システムを完成させた。すなわち光学実験台上にレーザーと母材を配置し、加工をすすめながら、形状検査をするもので、高精度の集光系の製作に不可欠のものである。
以上、基本設計に必要なツールをソフト・ハード両面について完成し、放射光走査型分析顕微鏡の設計を行なうことができ、試作の準備をととのえることができた。
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